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真空鍍膜機(jī)的真空室該如何設(shè)計(jì)呢?
真空鍍膜機(jī)相比大家都存有疑惑,今天來討論一下的是關(guān)于真空鍍膜設(shè)備真空室的設(shè)計(jì)問題,要是您有興趣了解的話可以和寶瑞鈦金一起來看看下面的內(nèi)容。
真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對真空度的影響要小,設(shè)計(jì)不能馬虎,要注意一些問題。
多弧離子真空磁控濺射鍍膜機(jī)工作原理蒸發(fā)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與工作原理介紹
多弧離子鍍膜機(jī)是一種、無害、無污染的離子鍍膜設(shè)備,具有堆積速度快、離化率高、離子能量大、設(shè)備操作簡略、本錢低、出產(chǎn)量大的長處。
真空多弧離子鍍膜機(jī)偏壓電源的作業(yè)原理
離子鍍膜正本是離子濺射鍍膜,關(guān)于導(dǎo)電靶材,運(yùn)用直流偏壓電源;非導(dǎo)電靶材,運(yùn)用脈沖偏壓電源。有的多弧離子鍍膜機(jī),可能還需求直流電弧電源或脈沖電弧電源
偏壓電源正本即是在陰極和樣品所在位置的陽極之間構(gòu)成偏壓電場,通常是陰極加負(fù)高壓。陰極外表的自由電子在電場效果下定向加快發(fā)射,發(fā)射電子炮擊氣體分子,使之電離,并且氣體被驅(qū)出的電子被電場加快,持續(xù)電離別的氣體分子,接二連三,構(gòu)成雪崩效應(yīng),氣體被擊穿,構(gòu)成穩(wěn)定的電離電流。此刻離子也被加快,炮擊靶材,將靶材中的原子驅(qū)除出外表,并堆積在樣品外表。
真空鍍膜封件的安裝方法:
安裝方法隨機(jī)械密封型式、機(jī)器的種類不同而有所不同,但其安裝要領(lǐng)幾乎都相同,安裝步驟和注意事項(xiàng)如下:(1)安裝尺寸的確定:安裝時(shí),應(yīng)按產(chǎn)品的使用說明書或樣本,保證機(jī)械密封的安裝尺寸。
(2)裝入前,軸(軸套)、壓蓋應(yīng)刺,軸承狀況良好;密封件、軸、密封腔、壓蓋都應(yīng)該清洗干凈。為減少摩擦阻力,軸上安裝機(jī)械密封的部位要薄薄地涂上一層油,以進(jìn)行潤滑,考慮到橡膠O形圈的相溶性,若不宜用油,可涂肥皂水。浮裝式靜環(huán)不帶防轉(zhuǎn)銷的結(jié)構(gòu),不宜涂油,應(yīng)干式裝入壓蓋。
(3)先將靜環(huán)與壓蓋一起裝在軸上,注意不要與軸相碰,然后將動環(huán)組件裝入。彈簧座或傳動座的緊定螺釘應(yīng)分幾次均勻擰緊。
在未固定壓蓋之前,用手推補(bǔ)償環(huán)作軸向壓縮,松開后補(bǔ)償環(huán)能自動彈回?zé)o卡滯現(xiàn)象,然后將壓蓋螺拴均勻地鎖緊。
真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法
真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法 1、目視監(jiān)控:使用眼睛監(jiān)控,因?yàn)楸∧ぴ谏L的過程中,由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化,我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準(zhǔn)確,需要依靠經(jīng)驗(yàn)。 2、極值監(jiān)控法:當(dāng)膜厚度增加的時(shí)候其反射率和穿透率會跟著起變化,當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時(shí)候,就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(入)的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大,因?yàn)楫?dāng)反射率或者透過率在極值附近變化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。 3.定值監(jiān)控法:此方法利用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長四分之一波位,然后由計(jì)算機(jī)計(jì)算在波長一時(shí)總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點(diǎn)。