特種氣體：氦氣

液氦的沸點極低（4.25K），使其成為高科技領(lǐng)域的寵兒：一是低溫超導(dǎo)。液氦溫度極低，可為超導(dǎo)磁體提供低溫環(huán)境，其中應(yīng)用廣的為磁共振成像（MRI）。醫(yī)1院核磁共1振成像儀的核心大都是超導(dǎo)磁體，只有在液氦的低溫下才能穩(wěn)定運行，產(chǎn)生穩(wěn)定的磁場，保證高分辨率成像。二是低溫冷卻。可是這種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計真空密封室，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無走漏，或者采取特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

液氦廣泛用于原子反應(yīng)堆的冷卻介質(zhì)和清洗劑。三是測溫。由于氦氣的液化溫度很低，接近于絕1對零度，故其測溫范圍很廣，多用于精密測量。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會考慮配置的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃氣體，應(yīng)使用雙套管輸送。同時管道的設(shè)計要采用零死區(qū)設(shè)計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。該辦法檢測靈敏度高，能完成小型密封容器產(chǎn)品的走漏檢測，能夠進行批量化檢測。后管道還要有良好的接地。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

預(yù)制間的選擇

特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于特氣項目，一般都建有一個標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。

特種氣體有哪些？

特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下游1行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料，被譽為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”，現(xiàn)有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。特種氣體:高純氯1氣高純氯1氣應(yīng)用高純氯1氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導(dǎo)體行業(yè)，被用作蝕刻氣體和脫水劑，而其中光纖行業(yè)用量較大。