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pfeiffer真空泵維修技術(shù)選型

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發(fā)布時(shí)間:2020-12-05 09:05  






廣州潽拓光電科技有限公司是一家專業(yè)做萊寶分子泵維修、德國萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復(fù)合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對廣州各地均可收件。

廣州潽拓光電

BOC STP-iXA3306CV渦輪分子泵維修,愛德華STP-iXA3306CV分子泵


BOC STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)先進(jìn)的性能,可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)(成熟的 STPiXA3305 系列的新技術(shù))。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不帶其電源供給 (iPS-1200))的高度。廣州潽拓光電公司作為全系列的真空設(shè)備供應(yīng)商,擁有應(yīng)用各種工作原理的真空計(jì),其測量范圍從1000毫巴到10-12毫巴,覆蓋了15個(gè)數(shù)量級,可以滿足各種真空工藝的要求萊寶的真空計(jì)家族包括:-用于測量粗真空的各種工作原理的機(jī)械指針式真空表。 這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小,可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。

BOC STP-iXA3306分子泵特性與優(yōu)勢:

與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%

可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程

緊湊型設(shè)計(jì),包括完全集成的控制器

創(chuàng)新性自傳感磁力軸承系統(tǒng)

數(shù)字化 5 軸控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途:

濺射

離子注入源,射束線泵送和站

金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物)

電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD


廣州潽拓光電——INFICON IKR 251高真空規(guī)

本產(chǎn)品的 型號為IGG25500, 輸出信號是模擬型, 品牌為INFICON, 種類是真空度, 制作工藝為冷陰

該產(chǎn)品一般用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜行業(yè),為inficon定制產(chǎn)品。

優(yōu)點(diǎn):

■測量范圍廣:5 x 10-7~1 pa■全金屬冷陰極陶瓷傳感器■新型幾何電極提供了很好的點(diǎn)火性能■降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險(xiǎn),即使在濺射過程中也一樣■陽極環(huán)和鈦陰極可清洗,更換容易■小磁場強(qiáng)度測量■ led指示燈電源和等離子點(diǎn)火■對數(shù)模擬輸出信號■ fieldbus總線接口(profibus db, devicenet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信


廣州潽拓光電科技——出售Varian TV551分子泵

瓦里安Varian TV551渦輪分子泵共有四種規(guī)格


         Varian Turbo-V 551 泵提供從 350 至 510 升/秒(視氣體而定)的抽速,并且采用 產(chǎn)品線中*先進(jìn)的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì),可以在低壓強(qiáng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)高壓縮比,在大抽氣量和高前級壓強(qiáng)是實(shí)現(xiàn)*大的壓差。該泵為無油、無污染型,并且具有非常低的故障率,可以在任何角度工作而不對材料施加應(yīng)力。典型的 MTTF 超過 250000 小時(shí)。我公司位于廣東省廣州市白云區(qū),主營業(yè)務(wù)包括:分子泵,真空泵專業(yè)維修保養(yǎng)售后技術(shù)服務(wù),真空系統(tǒng)技術(shù)服務(wù),電子設(shè)備工程安裝服務(wù)、技術(shù)進(jìn)出口、商品批發(fā)貿(mào)易。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。


上圖為Varian TV551 對應(yīng)口徑為ISO100,

       Varian TV551對應(yīng)不同的口徑,不同訂貨號的如下(內(nèi)置分子泵電源)

Varian TV551 Model 969-8832 with ISO 160 high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-8842 with ISO 160 F high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-8833 with ConFlat 8. external diameter high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-98834 with ISO 100 high vacuum flange;

Varian TV551 Model 969-8835 with ConFlat 6. external diameter high vacuum flange.


  Leybold Turbovac 35LS 分子泵的圖片如下: 這是我司維修的一臺 Leybold UL200 氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部所用的TURBOVAC 35LS :對應(yīng)轉(zhuǎn)速為1050Hz,即63000轉(zhuǎn)/分鐘,對應(yīng)Leybold


Leybold 35LS 分子泵還有1200Hz,對應(yīng)轉(zhuǎn)速為72000rpm,對應(yīng)leybold 編號:85666,兩者不能混用,請看圖片:


廣州潽拓光電科技專業(yè)維修分子泵 我們代理及維修的分子泵維修品牌有: 法國阿爾卡特:Alcatel Adixen英國愛德華:BOC Edward*日本精工,島津,大阪及荏原 : Seiko Seiki Shimadzu Osaka Ebara德國萊寶,普發(fā): Oerlikon Leybold Pfeiffer Balazer意大利瓦里安: Varian 代理及維修的分子泵,真空泵覆蓋全球一線的品牌


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