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varian真空分子泵維修的用途和特點「在線咨詢」

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發(fā)布時間:2021-09-17 19:26  






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         Varian意大利瓦里安于2010年被美國的Agilent安捷倫公司收購了,瓦里安真空產品現在由安捷倫擁有,Varian瓦里安真空產品應用于建筑玻璃鍍膜,汽車玻璃鍍膜,太陽能玻璃鍍膜,平板顯示屏鍍膜,增強耐磨性能的表面處理,金屬化膜層,食品工業(yè),包裝業(yè)及電子產品行業(yè)的卷繞鍍膜等。凡使用我司提供的真空泵耗材,正常使用過程中,在保用期內出現任何質量問題我司將對其免費更換。



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      分子泵對不同的氣體的抽速和壓縮比是有顯著不同的。壓縮比描述的是分子泵對特定氣體的壓縮能力。在分子泵的排氣口壓力保持不變的情況下,對壓縮比比較大的分子泵來說,氣體分子由排氣口返流回進氣口的量較小,反之,則返流較大。

    在分子泵剛剛開始工作的階段,由于有大量的氣體由進氣口被抽到排氣口,所以這種返流對實際抽速帶來的影響不是很大,而隨著進氣口壓力的下降,分子泵抽下來的氣體量在減少,這時,氣體返流對抽速的影響也就大起來了。從注油塞處加入干凈的真空泵油到視窗口的中心位置,旋緊注油塞不使漏氣。這就是分子泵對小分子氣體,特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。







分子泵在半導體設備中的應用在半導體生產制造工藝中,分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關鍵設備。安捷倫產品的質量和制造標準確保了DS旋片泵對輕質氣體具有穩(wěn)定的高抽速,同時還具有低噪聲,返油量少以及使用壽命長的特點。半導體器件的生產制造工藝極其復雜,需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學操作,例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進行,而且對真空系統(tǒng)和真空設備的潔凈度也有著很高的要求。 varian真空分子泵維修


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