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旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種形式:① 油封式真空泵:它是利用油類密封各運動部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩_@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點分為如下五種形式。它有如下幾種型式:①牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。a旋片式真空泵:轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。
Leybold萊寶真空泵主要型號:
SOGEVAC系列單級油封璇片真空泵:SV10 SV16 SV25 SV40 SV65 SV100 SV200 SV300 SV500 SV580 SV630 SV750 SV1200
TRLVAC C系列雙級油封璇片泵:D2 D4 D8 D9 D16 D25 D30 D40 D60 D65 D90
RUVAC系列羅茨泵:WA/WAU 150/151/250/251/500/501/1000/1001/2000/2001