質(zhì)譜分析法的特點是測試速度快，結(jié)果。廣泛用于地質(zhì)學(xué)、礦物學(xué)、地球化學(xué)、核工業(yè)、材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、醫(yī)學(xué)衛(wèi)生、食品化學(xué)、石油化工等領(lǐng)域以及空間技術(shù)和工作等特種分析方面。質(zhì)譜儀對工作環(huán)境有較高要求，所以室內(nèi)必須有空調(diào)，并保持室內(nèi)通風(fēng)。質(zhì)譜儀的真空度不能過低。同位素質(zhì)譜分析法的特點是測試速度快，結(jié)果，樣品用量少（微克量級）。能測定元素的同位素比值。廣泛用于核科學(xué)，地質(zhì)年代測定，同位素稀釋質(zhì)譜分析，同位素示蹤分析。

有機質(zhì)譜儀基本工作原理：以電子轟擊或其他的方式使被測物質(zhì)離子化，形成各種質(zhì)荷比（m/e）的離子，然后利用電磁學(xué)原理使離子按不同的質(zhì)荷比分離并測量各種離子的強度，從而確定被測物質(zhì)的分子量和結(jié)構(gòu)。質(zhì)譜方法還可用于有機化學(xué)分析，特別是微量雜質(zhì)分析，測量分子的分子量，為確定化合物的分子式和分子結(jié)構(gòu)提供可靠的依據(jù)。質(zhì)譜儀真空泵的保養(yǎng)方法，檢查和清潔前置真空泵入口過濾器，旋開入口轉(zhuǎn)接器，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入口過濾器。

質(zhì)譜儀能用高能電子流等轟擊樣品分子，使該分子失去電子變?yōu)閹д姾傻姆肿与x子和碎片離子。這些不同離子具有不同的質(zhì)量，質(zhì)量不同的離子在磁場的作用下到達(dá)檢測器的時間不同，其結(jié)果為質(zhì)譜圖。質(zhì)譜分析是先將物質(zhì)離子化,按離子的質(zhì)荷比分離,然后測量各種離子譜峰的強度而實現(xiàn)分析目的一種分析方法。無機質(zhì)譜儀與有機質(zhì)譜儀工作原理不同的是物質(zhì)離子化的方式不一樣，無機質(zhì)譜儀是以電感耦合高頻放電 (ICP)或其他的方式使被測物質(zhì)離子化。