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新模式是徹底顛覆初中過濾的傳統(tǒng)模式,采用逆向液體高壓噴淋模式,同步動態(tài)消毒、自動除塵,形成交叉縱橫系統(tǒng),即為新風進入機組先是消毒、除塵,是避免管道積塵及二次污染;回風進入機組后,通過除塵、消毒后達標排放。這樣在不影響空氣流量、壓力控制、過濾系統(tǒng)、溫度、濕度等一些列問題,做到了恒效運行、自動除塵、節(jié)能減排及削減成本。
對于半導體工業(yè)而言,無塵室是一必要且不可缺之設備,其對空氣中的粒子要求非常之嚴格,故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學藥品,當我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。
房間
盡可能(maybe)選擇寬敞、明亮的房間。一般有內(nèi)外兩間,外間作手術(shù)準備室,用來放盆器械柜,裝有簡單洗手設備,內(nèi)間作手術(shù)室,房間面積至少應能夠放一張手術(shù)的床、一個器城臺和容納手術(shù)人員活動.房門應寬大,以便抬送受術(shù)者。
光線
手術(shù)室一般陽光充足.如無日光,可用電燈光、立式地燈,必要時也可用煤氣(Coal Gas)燈或手電光照明。
地面
手術(shù)間地面力求平整光滑。術(shù)前應該用水沖刷地面或在地面灑水,以防塵土飛揚,污染手術(shù)野。
清潔車間不同空氣潔凈度的空氣過濾器的選擇和布置:對于300,000級空氣凈化處理,可以使用亞過濾器代替過濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對于凈化處理,應使用用于初級,中級和過濾器的三級過濾器;中效或空氣過濾器應根據(jù)小于或等于額定風量選擇;中效空氣過濾器應集中在凈化空調(diào)的正壓段;應在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過濾器。