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大學(xué)實(shí)驗(yàn)室氣路規(guī)范、醫(yī)院實(shí)驗(yàn)室氣路工程、物理實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、科研實(shí)驗(yàn)室集中供氣、實(shí)驗(yàn)室氣路改造工程
【源燈籠科技】專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)室氣路管道工程施工與改造。
實(shí)驗(yàn)室使用集中供氣系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn):1.效率。通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用鋼瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本。2.操作簡便。所有氣瓶均集中在同一位置,減少了搬運(yùn)安裝等操作,更節(jié)約時(shí)間及成本費(fèi)用。3.減少氣瓶的租金。采用集中供氣系統(tǒng),可減少對(duì)氣瓶數(shù)量的要求,從而節(jié)省氣瓶的租用成本。4.減少分子篩損耗。通過集中供氣能更好的控制氣體純度(通過清洗,吹掃),可有效地減少數(shù)派對(duì)分子篩的使用量(節(jié)約成本)。
根據(jù)用氣設(shè)備的分布,高純氣體的網(wǎng)不宜過大或者過長。宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。
管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管。
表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速?zèng)_刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
抗腐蝕性
微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體,這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會(huì)被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會(huì)發(fā)生危險(xiǎn)事故。
出氣速率
材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì),如氮、碳?xì)浠衔锏龋诟呒儦怏w輸送過程中,這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來,污染高純氣體,尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。