如果影像測量儀的測量平臺水平性能以及CCD攝像機的安裝十分出色，它們之間的夾角都在范圍以內，此誤差非常小。影像測量儀排除法，排除法便是當儀器毛病時，能夠拔掉一些機內插件板或器材，假設某一器材被拔掉后儀器康復正常，就闡明被拔掉的部分出了問題，需求替換。影像測量儀由高解析度CCD鏡頭、連續(xù)變焦物鏡、顯示器、精密光柵尺、多功能數(shù)據處理器、數(shù)據測量軟件與高精密工作臺組成。

 近年來，隨著國家裝備制造業(yè)的快速轉型，極大的促進了影像測量儀行業(yè)的發(fā)展。測量技術，已從機械式的接觸式對比測量轉變?yōu)榉墙佑|式影像測量。將待測工件放于工作臺上，啟動運動控制程序通過運動控制卡來控制X、Y、Z三軸的運動使得它們達到合適的位置，并使待測工件的圖像能夠清晰的呈現(xiàn)到CCD中。影像測量儀它可以用來進行零部件的尺寸、形狀及其相互位置的在線檢測，還可應用于劃線、定中心孔、光刻集成線路對準等。

通過圖像處理技術，空間幾何運算，運動控制以及對光柵數(shù)據的采集與運算來獲得被測物體的幾何尺寸和對要檢測物理量的檢測，通過測量軟件完成測量工作，得到所想要得到的參數(shù)，完成測量工作。影像測量儀溫度調養(yǎng)法，因時節(jié)緣故，溫度有時候會過高或過低，這種常有將會對儀器設備有影響。若儀器設備問題后關掉，過一段時間重新啟動，一切正常工作一段時間后又有問題。