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雙頻激光干涉儀

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。

在激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生f1和f2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。一、實用性選用機床測頭時總是有一定的出發(fā)點，目的是解決生產(chǎn)中的某一個或幾個問題。

當需要進行多個測針角度、位置及不同測針長度的測針校驗時，校驗后一定要檢查其校驗效果，方法是：全部定義的測針校驗后，使用測標準球功能，用校驗后的全部測針依此測量標準球，觀察其球心坐標的測量變化，如有1 到3 個微米變化，則是正常的，如果變化比較大，則要重新檢查測座、測頭、加長桿、測針、標準球的安裝是否牢固，測針和標準球上的手印和灰塵，這也是造成這種現(xiàn)象的重要原因。機床測頭系統(tǒng)提供了一種方便可靠的解決方案，不必在加工過程中多次將零件搬移到計量室，只需調(diào)用相應(yīng)的在機測量循環(huán)，應(yīng)用機床測頭系統(tǒng)，即可測出結(jié)果。

測針補償

三坐標經(jīng)由測頭（硬質(zhì)測頭或電子式觸發(fā)測頭）來觸測零件以取得并收集測量數(shù)據(jù)，因為測針是利用測針球的圓周來觸測工件，所以觸測零件時測針球的球心點及測針的半徑必須事先計算出來，此測針校驗動作就是先用測針去觸測標準球，當測針校驗過后（測量軟件已得知測針的球心位置跟半徑尺寸），當測針接觸到零件時，三坐標測量機控制柜接受的坐標值應(yīng)是紅寶石球頭中心點坐標，顯然，測量軟件將自動沿著測針從接觸點回退的方向加上一個紅寶石球半徑作為測量值。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。

氮化硅

氮化硅具有許多與紅寶石類似的特性。

這是一種非常堅硬耐磨的陶瓷材料，可加工成球體。也可拋光為光滑的表面光潔度。

氮化硅與鋁之間沒有吸附性，因此不存在紅寶石測球在類似場合所發(fā)生的粘附磨損現(xiàn)象。但氮化硅在鋼材表面掃描時卻具有很顯著的磨擦磨損特性，因此其應(yīng)用限制在鋁質(zhì)工件上。