淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機組。

水環(huán)式真空泵的優(yōu)點

　　1）結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。

　　2）結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

　　3）壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。

　　4）由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。

　　5）吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。

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水環(huán)真空泵的排出側(cè)必需裝設(shè)閥門（球閥或截止閥等）和逆止閥。閥門用來調(diào)理泵的工況點，逆止閥在液體倒流時可避免泵反轉(zhuǎn)，并使泵防止水錘的打擊。

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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：

　　半導體真空泵應用時，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設(shè)是油封式機械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設(shè)置過濾設(shè)備。

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