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當(dāng)所需填充的通孔為100μm 或要求更高時,
用于標(biāo)準(zhǔn)通孔的掩模印刷設(shè)置是不夠的。填充標(biāo)準(zhǔn)通孔典型的印刷設(shè)置是單次印刷, 中等速度( 10-20 mm/ s ) 和中等壓力, 壓力輔助燒結(jié),通過在Z 軸方向加壓燒結(jié),抑制X-Y 平面上的收縮;無壓力輔助燒結(jié),在疊層體材料間加入夾層(如在LTCC 燒結(jié)溫度下不燒結(jié)的氧化鋁),約束X 和Y 軸方向的移動,燒成后研磨掉上下面夾持用的氧化鋁層;各工件上的溫度不均勻,造成有的工件溫度高,釬料流淌過多,有的工件溫度不足,釬料還未完全熔化鋪展,釬焊質(zhì)量一致性差,而且加熱周期長,效率低。
100μm 的通孔需要稍大的模版開口,
以使垂直方向的填充。該方法也改善了在印刷期間模版與瓷帶間的對準(zhǔn)情況。150μm 的通孔所需的模版開口稍有減小,ltcc工藝設(shè)備多少錢, 以消除漿料污點(diǎn)。為未設(shè)置“凸點(diǎn)”焊接工藝的x射線掃描圖,箭頭所制為明顯焊接缺陷,釬著率大約75%,如圖5 (b):為設(shè)置“凸點(diǎn)”焊接工藝的X射線掃描圖,箭頭所指為輕微缺陷,釬著率為98%以上。實(shí)現(xiàn)零收縮的工藝有:自約束燒結(jié),基板在自由共燒過程中呈現(xiàn)出自身抑制平面方向收縮的特性,該方法無需增設(shè)新設(shè)備,但材料系統(tǒng),ltcc工藝設(shè)備公司,不能很好地滿足制造不同性能產(chǎn)品的需要;
為了對100μm及以下的通孔進(jìn)行高質(zhì)量的填充, 需要進(jìn)行多重印刷, 提高壓力并改善其他設(shè)置。為了滿足75-150μm 通孔無缺陷的填充, 還需對印刷漿料量進(jìn)行校正, 根據(jù)通孔的尺寸改變模版孔的開口。復(fù)合板共同壓燒法,將生坯黏附于一金屬板(如高機(jī)械強(qiáng)度的鉬或鎢等)進(jìn)行燒結(jié),ltcc工藝設(shè)備價格,以金屬片的束縛作用降低生坯片X-Y 方向的收縮;陶瓷薄板與生坯片堆棧共同燒結(jié)法,陶瓷薄板作為基板的一部分,燒成后不必去除,也不存在抑制殘留的隱憂。機(jī)械沖孔形成的微通孔沖孔形成的微通孔孔徑和孔距的一致性較好, 頂部邊緣比較平滑, 但底部邊緣較粗糙, 內(nèi)壁比較平直, 頂部和底部開口大小相接近。