真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點(diǎn)

1、高壓氮?dú)鈴?qiáng)度檢測(cè)真空箱內(nèi)進(jìn)行，保護(hù)操作者安全

2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、。

3、檢漏儀的自動(dòng)校準(zhǔn)功能以及自動(dòng)校準(zhǔn)程序，可隨時(shí)校準(zhǔn)檢漏儀的靈敏度、準(zhǔn)確度。

4、特殊設(shè)計(jì)的檢測(cè)程序判斷出具體的有漏工件，并通過(guò)燈光和液晶操作屏顯示出來(lái)。

5、專利技術(shù)的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。

7、PLC控制，使系統(tǒng)運(yùn)行清晰明了，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)及控制。

本產(chǎn)品信息由科創(chuàng)真空提供，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢！科儀創(chuàng)新竭誠(chéng)為您服務(wù)!

真空箱式氦檢漏設(shè)備 充氣柜氦檢漏設(shè)備  環(huán)網(wǎng)柜檢漏設(shè)備

以下內(nèi)容由科創(chuàng)真空為您提供服務(wù)，希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助。

系統(tǒng)嚴(yán)格按照客戶的要求設(shè)計(jì)制造，采用模塊化的設(shè)計(jì)，充分考慮客戶的檢漏要求，同時(shí)也盡可能采用標(biāo)準(zhǔn)化的模塊和部件，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護(hù)性。真空箱式氦檢漏設(shè)備適用對(duì)空腔電力工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏SF6充注，首先對(duì)工件充注一定壓強(qiáng)的干燥壓縮空氣或氮?dú)?，保壓判大漏。大漏合格后，?duì)工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測(cè)；然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6。全電腦控制，全自動(dòng)檢測(cè)，排除操作者人為因素導(dǎo)致的誤判。自動(dòng)判斷，聲光提示。自動(dòng)判斷，并對(duì)應(yīng)放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）9。

本設(shè)備嚴(yán)格按照“用戶技術(shù)要求”設(shè)計(jì)制造。

本設(shè)備適用對(duì)空腔電力工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏、SF6及氮?dú)獬渥?，首先?duì)工件進(jìn)行真空內(nèi)外壓強(qiáng)抽空，真空法判大漏。大漏合格后，對(duì)工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性微檢漏檢測(cè)；然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6及氮?dú)夤ぷ鳉怏w。通過(guò)本裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格產(chǎn)品?；炯夹g(shù)參數(shù)編輯真空箱數(shù)量：根據(jù)實(shí)際需要真空箱容積：根據(jù)實(shí)際需要示漏氦氣壓力：根據(jù)實(shí)際需要耐壓試驗(yàn)壓力：根據(jù)實(shí)際需要檢漏生產(chǎn)節(jié)拍：根據(jù)實(shí)際需要氦氣回收率：≧98%‘’想了解更多關(guān)于氦檢漏設(shè)備的相關(guān)資訊，請(qǐng)持續(xù)關(guān)注本公司。

主要技術(shù)參數(shù)及要求：

1、 真空箱尺寸：長(zhǎng)00mm×寬00mm×高00 mm

充氦氣壓力：0.05Mpa（可調(diào)）

2、 工作節(jié)拍：＜40分鐘/件

3、 箱內(nèi)接口數(shù)量：大件1個(gè)工件接口。小件2個(gè)工作接口。

4、 氦氣回收率：95%-98%

5、 可檢漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(報(bào)警漏率設(shè)置1×10-7Pam3/S時(shí)，應(yīng)可檢出)

6、 保壓檢測(cè)時(shí)間：（1-600S可調(diào)）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱檢漏真空≤20 Pa

9、系統(tǒng)自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱門開(kāi)關(guān)方式：自動(dòng)

真空箱體加送料車。料車尺寸高度需甲方確認(rèn)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。機(jī)械系統(tǒng)主要由以下四個(gè)單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。上位機(jī)采用工控機(jī)，用于向PID發(fā)布指令、系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)集中管理。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。