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無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A型級別。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A型級別,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
潔凈室的管理規(guī)范:
1、進(jìn)入潔凈室的管理,包括對潔凈室工作人員進(jìn)入,物料進(jìn)入,各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備,管線的維護管理,應(yīng)做到不得將微粒,微生物帶入潔凈室。
2、操作管理技術(shù),對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作,穿著和其清洗,操作人員的移動和動作,室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃,滅菌等,盡可能減少,防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒,微生物的產(chǎn)生,滯留,繁殖等。
不同的企業(yè)對于無塵車間裝飾有著不同的要求,不同的職業(yè)運用的無塵車間關(guān)于空間的凈化有著不同的要求,在進(jìn)行過濾器(作用:過濾雜質(zhì)等)的安置和挑選的時分要根據(jù)企業(yè)的要求和需求來進(jìn)行安置。無塵室優(yōu)點:構(gòu)造簡略、體系制作成本低,潔凈室的擴大比較簡單,在某些特殊用處場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。無塵廠房關(guān)于凈化空調(diào)體系的加濕問題而言,常用的加濕方法有許多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。