什么是高純氣體？

改革開放以來(lái)，隨著我國(guó)高新技術(shù)的快速發(fā)展，計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國(guó)大力開拓了多晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過(guò)的迅猛發(fā)展，上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。什么是高純氣體？半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類：1、普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。工業(yè)氣體在國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)識(shí)》（GB13690-1992）中，通常被劃分為第2類壓縮氣體和液化氣體。

瑞士聯(lián)邦理工學(xué)院(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne(EPFL))的化學(xué)工程師證明，原子級(jí)的石墨烯膜能夠有效地分離氣體混合物。這種膜是可伸縮的，使其成為工業(yè)氣體分離的突破口。它是一種五色無(wú)味的氣體，在空氣的含量為0．935％(按體積計(jì)算)，氬的沸點(diǎn)為－186℃，介于氧和氦的沸點(diǎn)之間。將混合氣體（例如空氣）分離成它們各自的組分是一個(gè)具有多種工業(yè)應(yīng)用的過(guò)程，包括沼氣生產(chǎn)、金屬加工中的空氣富集中有毒氣體的去除、以及氨廠和煉油廠的氫回收。

氣體的應(yīng)用

氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料，應(yīng)用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工等部門，均使用大量的常用氣體或特種氣體。能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。同時(shí)，吸附、解析周而復(fù)始，使得管材內(nèi)表面金屬也會(huì)產(chǎn)生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。氣體的應(yīng)用，特別對(duì)這些領(lǐng)域的高新技術(shù)有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng)，氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量和數(shù)量等方面得到飛躍發(fā)展.

稀有氣體的特點(diǎn)

稀有氣體(RareGases)：元素周期表后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、氙、氡。種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。低壓液化氣體(Low P ressu re L iquef ied Gases) ：臨界溫度大于70℃的氣體。按其門類可分為純氣、高純4_6m p-_4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。區(qū)分為不燃無(wú)毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無(wú)毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃?xì)怏w。此類氣體在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下貯運(yùn)和使用過(guò)程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、三氟氯、五氟氯、氯、三氯化硼、二氧化硫、二氧化氮、丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1- 丁烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氨、乙胺、甲硫醇、1, 3—丁二烯。