無塵車間潔凈度等級劃分標準

ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關受控環(huán)境內空氣潔凈度的技術要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標準方法.

為劃分等級,ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標準協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識.  

ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標準中的一個標準.除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設計、技術要求、運行和控制中予以考慮.