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、開爐前要檢查好電氣設(shè)備、水冷卻系統(tǒng)、感應(yīng)器銅管等是否完好,否則禁止開爐。
2、爐膛熔損超過規(guī)定應(yīng)及時(shí)修補(bǔ)。嚴(yán)禁在熔損過深坩堝內(nèi)進(jìn)行熔煉。
3、送電和開爐應(yīng)有專人負(fù)責(zé),送電后嚴(yán)禁接觸感應(yīng)器和電纜。當(dāng)班者不得擅自離開崗位,要注意感應(yīng)器和坩堝外部情況。
4、裝料時(shí),應(yīng)檢查爐料內(nèi)有無等有害物品混入,如有應(yīng)及時(shí)除去,嚴(yán)禁冷料和濕料直接加入鋼液中,熔化液充滿至上部后嚴(yán)禁大塊料加入,以防結(jié)蓋。
5、補(bǔ)爐和搗制坩堝時(shí)嚴(yán)禁鐵屑、氧化鐵混雜,搗制坩堝必須密實(shí)。
6、澆注場(chǎng)地及爐前地坑應(yīng)無障礙物,無積水,以防鋼水落地。
7、鋼水不允許盛裝得過滿,手抬包澆注時(shí),二人應(yīng)配合一致,走路應(yīng)平穩(wěn),不準(zhǔn)急走急停,澆注后余鋼要倒入地點(diǎn),嚴(yán)禁亂倒。
8、中頻發(fā)電機(jī)房?jī)?nèi)應(yīng)保持清潔,嚴(yán)禁物品和其它雜物帶進(jìn)室內(nèi),室內(nèi)禁止吸煙。
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的??梢约訜峋該诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
TEED一2001K過熱警報(bào)溫控儀輸出信號(hào)控制PLC全部程序的運(yùn)作,鉑電阻PT100檢測(cè)信號(hào)至警報(bào)溫控儀與過熱警報(bào)設(shè)定溫度值開展較為,當(dāng)具體溫度值小于設(shè)定值時(shí),輸出控制信號(hào)給PLC,PLC程序一切正常運(yùn)作。當(dāng)具體溫度值超出設(shè)定值時(shí),輸出控制信號(hào)給PLC,PLC封閉式運(yùn)作程序。故過熱警報(bào)的設(shè)定值一般要高過操作溫度的設(shè)定值。