湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

離子滲氮爐是將被處理的工件放置在真空容器中，在輝光放電條件下進(jìn)行滲氮。離子滲氮爐是將被處理的工件放置在真空容器中，在輝光放電條件下進(jìn)行滲氮。離子滲氮爐包括爐體、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測(cè)溫系統(tǒng)及控制系統(tǒng)所組成。

輝光離子滲氮的特點(diǎn)有：可節(jié)約能源和氨的消耗量，電能消耗為氣體氮化的1/2～1/5，氨氣消耗為氣體氮化的1/5～1/20。易于實(shí)現(xiàn)局部氮化，只要設(shè)法使不欲氮化的部分不產(chǎn)生輝光即可1，非滲氮部位便于保護(hù)，采用機(jī)械屏蔽、用鐵板隔斷輝光，即可保護(hù)。是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

在運(yùn)行的射頻輝光放電等離子體中，由于離子和電子遷移率的不同將導(dǎo)致陰極負(fù)偏壓的形成，在陰極表面建立一個(gè)直流負(fù)偏壓是進(jìn)行射頻濺射工藝的必要條件。兩個(gè)面積相等的電極置于射頻輝光放電等離子體中，不可能建立陰極靶表面的負(fù)偏壓，不可能產(chǎn)生濺射。