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實驗室氣體的危險性
1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會對工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;
2.多種氣體在同一個環(huán)境下使用,如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時泄漏,就可能對工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;
3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。
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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險的供應(yīng)系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護(hù)需要專業(yè)、有經(jīng)驗的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。
(1)特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。試驗室集中供氣系統(tǒng)的特點1、特點:試驗室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。全自動氣柜維護(hù)自動化程度較高,并且安全可靠。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門,設(shè)置換瓶吹掃,程序自動進(jìn)行抽氣,置換等動作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負(fù)壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。
(2)管路的維護(hù),由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對管路維護(hù)的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge),一般至少反復(fù)30次,對于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復(fù)的抽真空,抽完后關(guān)閉閥門,1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會造成管道泄漏的誤導(dǎo),遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設(shè)計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴(yán)重的就會有生命危險。
以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負(fù)壓保壓為-12PSI,保壓時間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負(fù)波動。
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特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項
由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應(yīng)注意的一些安全事項。
氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應(yīng)輕裝輕卸,嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。
使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。
不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮氣、二氧化碳等)進(jìn)行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。
燒焊時,應(yīng)對氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊槍等。
特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥,并有良好通風(fēng),嚴(yán)禁明火和其它熱源,嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙,氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。
在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒,應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。
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小流量氣體凈化系統(tǒng)
高純供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣,應(yīng)用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純的工藝氣體。此種供應(yīng)方式最終會減少運輸費用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。
氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標(biāo)達(dá)到各項雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進(jìn)水平。
氣體配比儀采用質(zhì)量流量計,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。