半導體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。正常的HID燈光通量是2400流明左右，是普通鹵素燈的三倍以上。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。    

           近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純已成功打開國內(nèi)市場。由于它的透霧能力特別強常用作有霧導航燈，廣泛用于機場、車站、碼頭。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

顏色或其他標記以及瓶閥出口螺紋與所裝氣體的規(guī)定不相符的氣瓶，除不予充氣外，還應(yīng)查明原因，報告上級主管部門或當?shù)貏趧硬块T，進行處理。

      無剩余壓力的氣瓶，充裝前應(yīng)將瓶閥卸下，進行內(nèi)部檢查。經(jīng)確認瓶內(nèi)無異物，新投入使用或經(jīng)內(nèi)部檢驗后次充氣的氣瓶，充氣前都應(yīng)按規(guī)定先置換去瓶內(nèi)的空氣，并經(jīng)分析合格后方可充氣。

      檢驗期限已過的氣瓶、外觀檢查發(fā)現(xiàn)有重大缺陷或?qū)?nèi)部狀況有懷疑的氣瓶，應(yīng)先送檢驗單位，按規(guī)定進行技術(shù)檢驗與評定。

1.六氟化硫新氣或六氟化硫再生氣體中本身含有水分

在生產(chǎn)的過程當中混入的水分是六氟化硫新氣中水分的主要來源，因為六氟化硫在合成之后，需要經(jīng)過一系列的工藝：熱解、水洗和堿洗以及干燥吸附等，復雜的生產(chǎn)環(huán)節(jié)也導致遺留了少量的水分。六氟化硫再生氣體中的水分主要是再生過程中過濾器工作不正常或吸附劑更換不及時造成的，向設(shè)備進行充氣抑或是的時候，水分就會進入設(shè)備的內(nèi)部?；旌蠚怏w廠家分享氣體鋼瓶的使用及貯存規(guī)范1）應(yīng)設(shè)置專用倉庫貯存氣瓶，氣瓶倉庫應(yīng)符合《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。此外六氟化硫氣瓶在長時間存放的過程當中，倘若氣瓶的密封不好的話，那么大氣當中的水分便會直接向內(nèi)進行滲透，從而使得六氟化硫氣體當中的含水量增加。

2.六氟化硫設(shè)備在組裝維修檢查和充過程當中所混入的水分

在組裝以及維修檢查高壓電器設(shè)備的時候，也許會把空氣當中所包含的水分帶入設(shè)備的內(nèi)部中。即使設(shè)備在組裝完畢之后仍需用高純氮氣沖洗以及抽真空干燥處理，但是，附著在設(shè)備的內(nèi)壁上抑或是滅弧室元件以及拉桿等部件的水分也不會被全部排除干凈。即使設(shè)備在組裝完畢之后仍需用高純氮氣沖洗以及抽真空干燥處理，但是，附著在設(shè)備的內(nèi)壁上抑或是滅弧室元件以及拉桿等部件的水分也不會被全部排除干凈。如果充管道的保存方式不當，對于管道的沖洗不完全的話，在進行充的時候也會造成水分進入到設(shè)備的內(nèi)部。

3.絕緣材料以及設(shè)備當中的吸附劑其本身含有水分

環(huán)氧樹脂澆注品時六氟化硫電氣設(shè)備當中的固體絕緣的主要的材料，其含水量通常在0.1%～0.5%這個范圍中，這些在固體絕緣材料中的水分會伴隨著時間的流逝而慢慢釋放掉。因為吸附劑飽和失效，平衡吸附量缺乏，對于增多的水分便沒有辦法再進行吸收，這便造成了設(shè)備當中六氟化硫氣體含水量的增多。微電漿元件科技是結(jié)合電漿科學，光電科學與材料科學的一個新領(lǐng)域，并提供了電漿科學一個新發(fā)展空間。

4.大氣中的水分經(jīng)由六氟化硫電氣設(shè)備密封薄弱環(huán)節(jié)而滲透到設(shè)備的內(nèi)部