混合氣體注意事項(xiàng)(一)

混合氣體注意事項(xiàng)：（1）使用前，請(qǐng)確認(rèn)購買的氣體符合自身的使用要求；（2）氣體鋼瓶請(qǐng)存放在干燥、陰涼的地方，并遠(yuǎn)離熱源和避免陽光直射，請(qǐng)將、等可燃?xì)怏w與氧氣、氧化亞氮等助燃?xì)怏w分開存儲(chǔ)；（3）使用鋼瓶氣體時(shí)，請(qǐng)使用減壓器（減壓閥、減壓表），確保減壓閥及氣體管道清潔無油；（4）在室內(nèi)使用氣體時(shí)請(qǐng)保持室內(nèi)通風(fēng)，以防窒息。

液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低,當(dāng)溫度降至2

液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低，當(dāng)溫度降至2.178K時(shí)，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動(dòng)性的液氦，此時(shí)的液態(tài)氦氣被稱為超流體。液態(tài)氦氣已實(shí)際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。

中的氦氣是鈾之類的性元素衰變的產(chǎn)物

中的氦氣是鈾之類的性元素衰變的產(chǎn)物。只有在礦附近有鈾礦時(shí)，氦氣才能在中匯集。美國生產(chǎn)的氦氣要占世界總產(chǎn)量的80%以上。中國雖然也有一定的資源，可是到目前為止，唯有四川內(nèi)江威遠(yuǎn)的氣田曾得到提氦利用，其中的氦含量只有0.2%，而且現(xiàn)在已經(jīng)枯竭。中國近年來對(duì)氦氣的需求量越來越大。受制于氦氣資源匱乏、提取氦氣的成本較高，中國在需求上一直依賴進(jìn)口。