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潔凈凈化技術之凈化車間的微振控制方案
對于微振控制要求的潔凈廠房在設計時應該考慮哪些問題呢?
1. 在結(jié)構(gòu)選型,隔振縫設置,壁板與地面級頂棚連接處,應按微振控制要求設計。
2. 潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈震動的設備及其連接管道,應采取主動隔振措施。
3. 應確定潔凈廠房內(nèi)各類振源對潔凈廠房精密設備,精密儀器儀表位置處的綜合震動影響,以決定是否采取被動隔振措施。
另外在凈化車間的結(jié)構(gòu)材料上應具備以下幾點 :
?、賰艋瘡S房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造
?、诘孛婵刹捎铆h(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型
?、鬯突仫L管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板
④送風口宜用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用不銹鋼框架(或者冷板烤漆),不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化車間施工的注意事項
一、制定凈化車間施工程序表
建設凈化車間有先后的順序,杜絕哪部分材料先到就先施工哪部分的極端錯誤做法,避免污染。允許同時施工的各部分要注意彼此間的銜接關系,必要時應繪制施工二次設計圖。
二、過濾器的安裝
凈化車間安裝過濾器之前,應徹底做好清潔工作,凈化送、回風系統(tǒng)連接試運行24小時后,再次清潔潔凈室后,立即安裝過濾器。
潔凈送、回風系統(tǒng)風管的施工:風管內(nèi)表面必須平整光滑,風管安裝之后、保溫之前應進行漏風檢查。風管與部件支、吊架的預埋件或膨脹螺栓的位置應正確,牢固可靠,埋入部分應去除油污,并不得涂漆。
三、設置專用倉儲間
所有材料和設備說明書和合格證均應妥善保管,以便竣工驗收后將資料完整的移交給用戶。設備和材料到達凈化車間施工現(xiàn)場時,應嚴格檢查,各種過程器開箱檢查后應重新封存。
無塵室的消防安全要求如下:
1、潔凈室應進行專門設計,其主體建筑應為一、二級耐火等級;吊頂、分隔墻等構(gòu)配件及保溫、隔熱、裝飾材料,應盡量采用不燃材料或經(jīng)過防火處理的材料。
2、潔凈廠房的排風系統(tǒng)。應設置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥??傦L管穿過樓板和風管穿過防火墻處,必須設置防火閥。
3、有、物品的無塵室、電氣要符合防爆要求;電氣敷設和安裝要從嚴要求,暗敷的電線當中不得有接頭。對電氣設備要經(jīng)常維修,用后及時切斷電源。對需要長開的電氣設備,下班后應有專人巡邏檢查。
4、為防止起火和燃燒,便利疏散與搶救,對防火墻間蕞大允許占地面積和防火分隔以及疏散路線等,一般應比其他建筑有更高的要求。出入口或拐彎處應有緊急照明燈。
5、其他建筑改建為潔凈室的,也應進行專門設計,并經(jīng)消防部門審核。一般不得破壞原來的防火分隔,新用的保溫、隔熱、分隔等材料及裝飾材料盡量不要采用可燃材料,如要使用的,應經(jīng)過防火處理。
6、無塵車間內(nèi)不得使用明火加熱,采用電加熱的必須密閉,并嚴格控制加熱溫度。各種加熱裝置均應安裝在不燃基座上。
7、使用液體和氣體的無塵室,應安裝排風設備,操作臺應有獨立的排風裝置。液體蒸氣和氣體的尾氣管應與排風系統(tǒng)分開。
無塵室(潔凈室)怎樣定期清潔維護呢?
在講到清潔維護的重要性之前,我們先在認識一下潔凈室中的四大污染來源:
1、潔凈室中的設施,例如地面、墻面、天花板等,一刻不停地擴散著粒子。
2、潔凈室中的人員是污染的主要來源,潔凈室中的污染有80%都來自于人員散發(fā)的粒子。
3、潔凈室中的產(chǎn)品也會向潔凈室空間擴散粒子。
4、潔凈室中的工具設備在運轉(zhuǎn)的過程中會向潔凈室空間擴散粒子。
既然潔凈室有這么多污染來源,為什么潔凈室“看上去”還那么干凈呢?那是因為我們?nèi)庋壑荒芸吹搅酱笥?0um的塵粒,需要用顯微鏡才能看到小于50um的塵粒。(如下圖所示)而對于許多精密制造業(yè)來說,例如芯片制造業(yè),任何大于0.1um的塵粒都會對產(chǎn)品造成危害。此時,就需要通過潔凈室和污染控制技術來達到合格的生產(chǎn)環(huán)境。