潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。

    對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

    1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

    2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

    壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

潔凈室的管理規(guī)范：

    1、嚴(yán)格各類(lèi)設(shè)備，設(shè)施的維護(hù)管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類(lèi)設(shè)備，設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn)，包括凈化系統(tǒng)，各類(lèi)水，氣，電系統(tǒng)，生產(chǎn)工藝設(shè)備和工具（工具夾）等，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級(jí)別。

    2、清掃，滅菌管理，對(duì)潔凈室內(nèi)的各類(lèi)設(shè)備，設(shè)施的清掃，滅菌以及方法，周期和檢查明確的規(guī)定，防止，梢除潔凈室內(nèi)塵粒，微生物的生產(chǎn)，滯留，繁殖。

　GMP潔凈車(chē)間，凈化工程規(guī)劃應(yīng)確保安全出產(chǎn)和滿足環(huán)境保護(hù)的要求。云潔凈化工程的稍置和各項(xiàng)設(shè)備的規(guī)劃均有必要契合消防、防火的要求，應(yīng)按國(guó)家的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行規(guī)劃，由于潔凈室凈化工程內(nèi)的平面和空間扣置持殊、走道彎曲等特點(diǎn)，在進(jìn)行各項(xiàng)技能設(shè)備的系統(tǒng)規(guī)劃、設(shè)備裝備和材質(zhì)選樣時(shí)，加特別留意按規(guī)定選用契合要求的系統(tǒng)、沒(méi)備和材質(zhì)。