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真空泵的發(fā)展從十七、十八世紀(jì)迄今已經(jīng)歷了三個(gè)多世紀(jì)漫長(zhǎng)的歷史過(guò)程。從原始的水泵開(kāi)始發(fā)展成為現(xiàn)有的機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵、低溫泵、離子戮射泵、升華泵等數(shù)十種。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶(hù)的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。
水環(huán)式真空泵i初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)i藥及食品等許多工業(yè)部門(mén)。真空泵的發(fā)展從十七、十八世紀(jì)迄今已經(jīng)歷了三個(gè)多世紀(jì)漫長(zhǎng)的歷史過(guò)程。從原始的水泵開(kāi)始發(fā)展成為現(xiàn)有的機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵、低溫泵、離子戮射泵、升華泵等數(shù)十種。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中,如真空過(guò)濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)式真空泵得到廣泛的應(yīng)用。
真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。每種泵都有一定的工作壓力范圍,因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在允許工作壓力以外長(zhǎng)時(shí)間工作。由于煤礦、化工、制藥、造紙等行業(yè)的發(fā)展,對(duì)水環(huán)真空泵的要求越來(lái)越向大型化方面發(fā)展。