潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)的濕度范圍為35—45%。2．靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作，例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門(mén)柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊，失效率競(jìng)達(dá)78%，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏。

風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈無(wú)塵車(chē)間所必備的凈化設(shè)備，通用性強(qiáng)，可與所有的潔凈室和潔凈廠房配套使用，工作人員進(jìn)入車(chē)間時(shí)，必須通過(guò)此設(shè)備，用強(qiáng)勁潔凈的空氣，由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個(gè)方向噴射至人身上，有效而迅速清除去附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物，它可以減少人進(jìn)出潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。工作人員將頭發(fā)，灰塵、細(xì)菌帶入車(chē)間，達(dá)到工作場(chǎng)地嚴(yán)格的無(wú)塵凈化標(biāo)準(zhǔn)，生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。潔凈工程規(guī)范設(shè)計(jì)概算辦法，確立設(shè)計(jì)概算須經(jīng)過(guò)工程標(biāo)準(zhǔn)定額造價(jià)管理站和建行等審定，以確定的投資限額作為取費(fèi)基數(shù)，這樣可去除人為擴(kuò)大設(shè)計(jì)規(guī)模與冒算的費(fèi)用。    

風(fēng)淋傳遞窗是潔凈室的一種輔助設(shè)備，為了減少由于貨物進(jìn)出所帶來(lái)的大量塵埃粒子，風(fēng)淋傳遞窗經(jīng)過(guò)濾器過(guò)濾后的潔凈氣流由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個(gè)方向噴射至貨物上，有效而迅速清除塵埃粒子，清除后的塵埃粒子再由初、過(guò)濾器過(guò)濾后重新循環(huán)到風(fēng)淋區(qū)域內(nèi)。為了達(dá)到吹淋的較好效果，噴嘴出風(fēng)口風(fēng)速能達(dá)到20s以上。三、中途：待底涂干化后，再將配好的中涂料用鏝刀批刮在底涂上（根據(jù)地面基礎(chǔ)情況可批刮多遍）四、面涂：待中涂固化后，鏟去突起的顆粒等雜物，用滾筒把配好的面涂料滾涂在中涂上。

賽達(dá)凈化堅(jiān)持秉承以科技為先導(dǎo)、以市場(chǎng)為導(dǎo)向的科學(xué)管理理念，憑借規(guī)范化管理及的技術(shù)力量在食品、藥品、化妝品、微電子等諸多工業(yè)領(lǐng)域設(shè)計(jì)承建了潔凈SC廠房、GMP廠房、無(wú)菌室、實(shí)驗(yàn)室及相關(guān)配套產(chǎn)品。我們的宗旨：！誠(chéng)信??！

特性：

1、固化后的表面硬度高，耐磨損，不起塵；

2、使地面能抵受大的沖擊荷載；

3、與基層混泥土整體粘接，不起鼓，不脫落；

4、堅(jiān)硬密實(shí)的表面可以較大限度的抵抗油脂，特種液壓油和多種工業(yè)用化學(xué)試劑的侵蝕滲透；

5、日常清潔方便簡(jiǎn)單，節(jié)省物料，降低費(fèi)用。

適用范圍：適用于大部分工業(yè)廠房、倉(cāng)庫(kù)、停車(chē)場(chǎng)、貨倉(cāng)式商場(chǎng)等，尤其是有車(chē)輛行走的區(qū)域。