十萬級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)：

1．塵粒大容許數(shù)（每立方米）；

2．大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得逾越3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得逾越20000個(gè)；

3．微生物大容許數(shù)；

4．浮游菌數(shù)不得逾越500個(gè)每立方米；

5．沉隆菌數(shù)不得逾越10個(gè)每培養(yǎng)皿。

6．壓差：一樣潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致，對(duì)于不一樣潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。

3、車間環(huán)境監(jiān)測(cè)方法

　溫度、濕度的監(jiān)測(cè)方法。凈化車間溫度、濕度的監(jiān)測(cè)需要由生產(chǎn)操作員執(zhí)行，每天檢查2次，并且要監(jiān)測(cè)車間的每個(gè)區(qū)域。監(jiān)測(cè)時(shí)，要確保凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)正常運(yùn)行30分鐘以上。如果在監(jiān)測(cè)過程中發(fā)現(xiàn)溫度、濕度超過標(biāo)準(zhǔn)，要及時(shí)查明原因并進(jìn)行調(diào)整。

　　第二，壓差的監(jiān)測(cè)方法。凈化車間壓差的監(jiān)測(cè)同樣需要由生產(chǎn)操作員執(zhí)行，每天檢查2次，并且需要做到動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)。另外，壓差的監(jiān)測(cè)同樣要保證車間空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行30分鐘后進(jìn)行。在進(jìn)行壓差監(jiān)測(cè)時(shí)需要注意：測(cè)試時(shí)應(yīng)先關(guān)閉車間所有的門；2、為防止交叉污染，應(yīng)分別設(shè)置人員通道及物料運(yùn)輸通道，人員通道應(yīng)按潔凈室通道要求嚴(yán)格執(zhí)行，各通道應(yīng)裝有空氣幕(即風(fēng)幕)或雙向彈簧門及電子滅蠅(蚊)器等防蟲設(shè)施。監(jiān)測(cè)期間任何人不得穿越車間；監(jiān)測(cè)時(shí)要等到微壓表示數(shù)穩(wěn)定后再讀數(shù)。

2、對(duì)溫濕度有嚴(yán)格要求

　　在電子生產(chǎn)中，過高或者過低的溫濕度都會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成惡劣影響。例如；濕度過大，會(huì)導(dǎo)致電子元器件漏擊穿、材料老化；濕度過低又會(huì)導(dǎo)致塑料、絕緣材料干燥收縮、變形甚至龜裂。溫度過高會(huì)導(dǎo)致元器件膨脹，導(dǎo)致尺寸變化、位置偏移、機(jī)構(gòu)變形，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

　　3、對(duì)靜電有嚴(yán)格要求

　　在微電子器件生產(chǎn)過程中，各種因素產(chǎn)生的靜電電壓，往往會(huì)超過電子器件對(duì)靜電的靈敏度范圍，導(dǎo)致電子設(shè)備出現(xiàn)故障，損壞設(shè)備內(nèi)部各元器件，引起設(shè)備誤動(dòng)。靜電還會(huì)吸塵，容易積蓄灰塵，導(dǎo)致設(shè)備通風(fēng)散熱受到很大影響，導(dǎo)致機(jī)械零件出現(xiàn)嚴(yán)重磨損，從而影響設(shè)備的使用壽命。凈化無塵車間的潔凈工作臺(tái)的構(gòu)造要求：箱體，用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內(nèi)表面需粘貼消聲材料，至大尺寸應(yīng)以通過一般房門為宜。