輪廓儀測量后，測量結束后，維護尚未結束。確保清潔工作表面并保持工作臺清潔。此外，請檢查滑道，并且不要在滑道上留下任何碎屑或水漬。結束后，關閉電源并關閉電源輪廓儀點線處理（兩直線交點，交點到直線距離，交點與交點距離，交點到圓心的距離）、直線度、凸度、對數(shù)曲線、槽深、槽寬、溝曲率半徑、溝邊距、溝心距、輪廓度、水平距離等形狀參數(shù)。輪廓儀主要是用來測量零件表面的輪廓形狀，反應的是零件的宏觀輪廓，比如說：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等)，圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。

輪廓儀球軸承溝道的溝曲率半徑及溝邊距;雙溝軸承的溝心距、溝道所在圓的圓心距；四點接觸軸承(桃形溝)的溝心距和溝曲率半徑；以及兩直線交點、點到點、點到線的距離等。輪廓儀準備溫度在啟動機器之前，請先檢查其濕度，濕度和儀器清潔度，然后檢查電源是否工作正常，定期檢查穩(wěn)壓電源的接地。輪廓儀測量原理，表面輪廓儀采用直角坐標測量法，觸針接觸式。機械部份采用精密氣浮直線運動導軌，建立X坐標的精密測量基準，Z坐標由數(shù)字傳感器構成，可以測量各種精密機械零件的素線形狀。

 光學輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、、科研院所等領域中。輪廓儀主要是用來測量零件表面的輪廓形狀，反應的是零件的宏觀輪廓，比如說：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等)，圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。輪廓儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學檢測儀器。