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潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房?jī)?nèi)必須設(shè)置的插座、開關(guān)、器械柜等均嵌入墻內(nèi),與墻面平齊。 手術(shù)室和輔助用房?jī)?nèi)不得有明露管線。離心式冷水機(jī)組離心式冷水機(jī)組是由離心式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機(jī)組。管線隱蔽工程在管線施工完成并進(jìn)行試壓驗(yàn)收后進(jìn)行。管線穿墻、穿吊頂處的洞口周圍用密封材料嵌縫修補(bǔ)平齊、密并清潔。隱蔽工程的檢修口周邊應(yīng)粘貼氣密性密封墊?;仫L(fēng)管及回風(fēng)口處理:圖紙?jiān)O(shè)計(jì)為側(cè)墻面回風(fēng),為了保證墻面平整,不增加凹凸面,將回風(fēng)立管移至手術(shù)室的兩斜對(duì)角處。
潔凈室的送、回風(fēng)方式影響潔凈室風(fēng)量分布的主要原因是氣流組織、送風(fēng)方式及送、回風(fēng)口的數(shù)量。如果潔凈室氣流分布不勻出現(xiàn)渦流,就會(huì)減弱塵埃粒子的稀釋效果,從而影響室內(nèi)粒子濃度場(chǎng)的均勻程度。如果是涉及到電子方面的實(shí)驗(yàn)室,或者是有精密儀器的實(shí)驗(yàn)室,都不允許室內(nèi)有靜電存在。根據(jù)我們的施工實(shí)踐,送風(fēng)氣流應(yīng)該由上至下均勻分布開來(lái)以便加強(qiáng)擴(kuò)散,減少以短路線進(jìn)入工作區(qū)的直射方式,稀釋塵埃微粒污染,然后沿著沉降的方向從排風(fēng)口排出。由此可見上送下回的送風(fēng)方式較為理想。
抗性消聲器的消聲原理是:它不直接吸收聲能,而是借助管道截面的突出擴(kuò)張或收縮,或旁接共振腔,使沿管道傳播的部分噪聲在突變處向聲源方向反射回去而不通過(guò)消聲器,從而達(dá)到消聲的目的。在較寬的頻帶范圍內(nèi)有較大的消聲量。潔凈室的送、回風(fēng)方式影響潔凈室風(fēng)量分布的主要原因是氣流組織、送風(fēng)方式及送、回風(fēng)口的數(shù)量。體積小、造價(jià)低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工方便。消聲器內(nèi)所用材料要能防火、防蛀、防腐、防潮、耐高溫及在氣流作用下不致使吸聲材料被吹走。
在集成電路的制造過(guò)程中,被加工的是單一的硅片,從原材料到產(chǎn)品需要進(jìn)行幾百道物理、化學(xué)加工工序,其間如果遭受污染,就會(huì)引起產(chǎn)品大量報(bào)廢,例如64 MDRAV,在制造過(guò)程中,空氣中塵埃粒徑應(yīng)被控制在0.035μm以下;環(huán)境微振動(dòng)值應(yīng)控制在4.5X10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振動(dòng)會(huì)引起對(duì)位不準(zhǔn),影響產(chǎn)品的成品率。中心實(shí)驗(yàn)室:各類藥品檢驗(yàn)時(shí)的樣品處理、試劑配制、滴定分析、清洗器具、書寫報(bào)告等。其他如精密機(jī)械加工、光學(xué)器件檢測(cè)、激光實(shí)驗(yàn)、超薄金屬軋制以及理化實(shí)驗(yàn)等都需要對(duì)微振動(dòng)進(jìn)行控制。