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電子氣體污染控制要求日趨嚴格隨著電子消費品的升級換代,產(chǎn)品制造尺寸越來越大,產(chǎn)品良率和缺陷控制越來越嚴格,整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度,以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?;旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標,直接與分析儀器技術(shù)進步帶來的較低檢測極限(直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到微米,而核凝結(jié)技術(shù)可達到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到納米,對于大宗氣體的純度都要求在級別,顆粒度控制直指分析儀器的下限。實驗室超高亮度技術(shù)指標已達到以上,對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級精餾生產(chǎn)技術(shù)指標到達的白氨的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至。
標準氣體是引有氣體工業(yè)名詞,標準氣體屬于標準物質(zhì)。標準物質(zhì)是高度均勻的,良好穩(wěn)定和量值準確的測定標準,它們具有復(fù)現(xiàn),保存和傳遞量值的基本作用,在物理,化學,生物與工程測量領(lǐng)域中用于校準測量儀器和測量過程,評價測量方法的準確度和檢測實驗室的檢測能力,確定材料或產(chǎn)品的特性量值,進行量值仲裁等。
標準氣體的標準狀態(tài)—— 標準氣體是物質(zhì)的一個態(tài)。氣體與液體一樣是流體:它可以流動,可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。假如沒有限制(容器或力場)的話,氣體可以壙散,其體積不受限制。標準氣體氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子相互之間可以自由運協(xié)。氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子的動能比較高。
氮氣是一種非常重要的氣體,它的應(yīng)用廣泛。食品的儲存和運輸需要用到大量的氮氣,來防止食物變質(zhì);另一方面,由于氮氣的良好性質(zhì),在焊接、機械設(shè)備和油田開采中有著重要的應(yīng)用價值??梢哉f,氮氣的用途很廣泛,幾乎處處可見。
氮氣(N2)是一種無色、無味、無臭的惰性氣體,密度為1.2506kg/m3,熔點為-209.86℃,沸點為-195.8攝氏度,稍溶于水和乙醇,化學性質(zhì)不活躍,在一個大氣壓下的冷卻和冷凍整個過程中吸收的總能量為382kJ/kg。人在氮氣中作業(yè)時,應(yīng)該防止窒息致死。
氦氣和氮氣的區(qū)別
大家都知道制作氦氣的方法有哪些,想要獲取氦氣首先得找到蘊含氦氣的然氣,再通過各種方法獲得粗氦,再按照需求精煉成不同純度的氦氣,所花的代價非常大,氦氣的價格也就水漲船高。
反觀氮氣,只需要將液態(tài)空氣分餾就可以獲得純度不高的氮氣,一般氮氣都是作為工業(yè)制氧時的副產(chǎn)品出現(xiàn)。而且氦氣和氮氣相比,氮氣還有一個優(yōu)勢就是可以在實驗室獲取。實驗室中可以通過氯化銨混合亞肖酸鈉加熱、純空氣通過灼熱銅粉或銅絲網(wǎng)去氧、氨氣通過灼熱氧化銅這些方法人工獲取氦氣,但是可沒聽說過氦氣有實驗室制取方法。