凈化車間門窗固定縫隙（一類和三類）的處理：

　　此類縫隙查的安裝縫隙不僅在每樟凈化車間門窗當(dāng)今相對數(shù)量較少，而且樘與洞口的結(jié)合經(jīng)裝修后比較隱蔽，是比較容易密封的間定縫隙。棱與洞口周邊連接應(yīng)牢固，不僅是密閉凈化車間門窗，還是一般凈化車間門宙構(gòu)造的要求，由于凈化車間門的受力大而猛，在凈化車間門程的固定中尤應(yīng)注意程及其洞口周邊的固定點(diǎn)是否牢固穩(wěn)定，但對密閉凈化車間門窗來說，還必須強(qiáng)調(diào)膛與凈化車間門洞或宙桐間的縫隙中填塞密實(shí)，而后覆蓋以室內(nèi)和室外的墻面裝修層就可基本保證這類縫隙的氣密性，第二類固定縫隙即玻璃或其他芯板的安裝縫隙。凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。在一橙凈化車間門的縫隙數(shù)量中相對所占比例較小，但在一膛宙的構(gòu)造縫隙中卻往往是主要部分，特別是對于外宙，它們暴露在大氣中，受室外氣候的影響，須慎重處理，一方面要盡量減少芯條玻璃安裝縫隙，一方面要慎重選擇設(shè)防構(gòu)造。

潔凈工程規(guī)范設(shè)計(jì)概算辦法，確立設(shè)計(jì)概算須經(jīng)過工程標(biāo)準(zhǔn)定額造價(jià)管理站和建行等個(gè)面審定，以確定的投資限額作為取費(fèi)基數(shù)，這樣可去除人為擴(kuò)大設(shè)計(jì)規(guī)模與冒算的費(fèi)用。制訂“限額設(shè)計(jì)”標(biāo)準(zhǔn)。對于凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)法將電動機(jī)移至空氣處理室之外，或?qū)L(fēng)機(jī)、電動機(jī)均設(shè)置在空氣處理室之外，即可減少由于電動機(jī)的溫升而增加處理空氣的冷負(fù)荷。限額設(shè)計(jì)是工程建設(shè)過程中行之有效的控制方法，也是控制投資規(guī)模的有效措施之一。因此，盡快組織有關(guān)部門，按建筑的不同類型和規(guī)模及潔凈度要求，制訂出適宜的限額設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，作為設(shè)計(jì)部門的“對照表”是設(shè)計(jì)管理工作中的一項(xiàng)重要任務(wù)。

基礎(chǔ)的承受能力按大于機(jī)組總重量的1.2倍進(jìn)行考慮，務(wù)必注意承載體的強(qiáng)度和可靠性，否則將有重大隱患；2、保持潔凈車間相對于室外的正壓，只能讓室內(nèi)的污染空氣出去，不能讓室外的空氣通過縫隙進(jìn)入潔凈車間?；A(chǔ)高度應(yīng)高于機(jī)房地平面200-300mm，小型號機(jī)組基礎(chǔ)取小值，機(jī)組外形尺寸長寬各大于機(jī)組外形尺寸長寬50-100mm；基礎(chǔ)表面應(yīng)平整、光潔，其對角線水平誤差以不超過5mm為宜，如基礎(chǔ)不水平，可能會導(dǎo)致冷凝水排放不暢，造成漏水；對于安裝在地面上的機(jī)組，為減少機(jī)組振動的傳遞，建議在機(jī)組底座下放置減振膠墊。