興之揚(yáng)蝕刻不銹鋼網(wǎng)片小編來(lái)向大家說說電漿干法蝕刻制程參數(shù)：

電漿蝕刻制程參數(shù)一般包括了射頻(RF)功率、壓力、氣體種類及流量、蝕刻溫度及腔體的設(shè)計(jì)等因素，而這些因素的綜合結(jié)果將直接影響蝕刻的結(jié)果。

射頻(RF)功率是用來(lái)產(chǎn)生電漿及提供離子能量的來(lái)源，因此功率的改變將影響電漿中離子的密度及撞擊能量而改變蝕刻的結(jié)果。壓力也會(huì)影響離子的密度及撞擊能量，另外也會(huì)改變化學(xué)聚合的能力；蝕刻反應(yīng)物滯留在腔體內(nèi)的時(shí)間正比于壓力的大小，一般說來(lái)，延長(zhǎng)反應(yīng)物滯留的時(shí)間將會(huì)提高化學(xué)蝕刻的機(jī)率并且提高聚合速率。氣體流量的大小會(huì)影響反應(yīng)物滯留在腔體內(nèi)的時(shí)間；增加氣體流量將加速氣體的分布并可提供更多未反應(yīng)的蝕刻反應(yīng)物，因此可降低負(fù)載效應(yīng)(LoadingEffect)；改變氣體流量也會(huì)影響蝕刻速率。原則上溫度會(huì)影響化學(xué)反速率及反應(yīng)物的吸附系數(shù)(AdsorptionCoefficient)，提高芯片溫度將使得聚合物的沉積速率降低，導(dǎo)致側(cè)壁的保護(hù)減低，但表面在蝕刻后會(huì)較為干凈；針對(duì)有表面組裝和光潔度要求的產(chǎn)品，蝕刻加工很好的解決了沖壓和線割以及激光切割加工的各種不足，精度又能滿足產(chǎn)品的要求，擁有不可替代性。增加腔體的溫度可減少聚合物沉積于管壁的機(jī)率，以提升蝕刻制程的再現(xiàn)性。晶圓背部氦氣循環(huán)流動(dòng)可控制蝕刻時(shí)晶圓的溫度與溫度的均勻性，以避免光阻燒焦或蝕刻輪廓變形。其它尚須考慮的因素還有腔體的材質(zhì)，一般常見的材質(zhì)包含鋁、陶瓷、石英、硅及石墨等，不同的腔體材質(zhì)會(huì)產(chǎn)生不同的反應(yīng)產(chǎn)物并會(huì)改變蝕刻的直流偏壓。

興之揚(yáng)吸塵器不銹鋼網(wǎng)片小編給大家介紹什么是鋁的濕式蝕刻:

鋁或鋁合金的濕式蝕刻主要是利用加熱的磷酸、HNO3、醋酸及水的混合溶液加以進(jìn)行(1)。典型的比例為80%的磷酸、5%的HNO3、5%的醋酸及10%的水。而一般加熱的溫度約在35°C-45°C左右，溫度越高蝕刻速率越快，一般而言蝕刻速率約為1000-3000?幾種不銹鋼材料選擇和用途蝕刻加工材料選擇：很多易變的因素表示侵蝕介質(zhì)的特征，即化學(xué)制品和其濃度、大氣狀態(tài)、溫度、時(shí)間，所以假如不了解介質(zhì)的準(zhǔn)確的性質(zhì)，要使用材料、選擇材料是難題。/min，而溶液的組成比例、不同的溫度及蝕刻過程中攪拌與否都會(huì)影響到蝕刻的速率。

蝕刻反應(yīng)的機(jī)制是藉由HNO3將鋁氧化成為氧化鋁，接著再利用磷酸將氧化鋁予以溶解去除，如此反復(fù)進(jìn)行以達(dá)蝕刻的效果。

在濕式蝕刻鋁的同時(shí)會(huì)有氫氣泡的產(chǎn)生，這些氣泡會(huì)附著在鋁的表面，而局部地抑制蝕刻的進(jìn)行，造成蝕刻的不均勻性，可在蝕刻過程中予于攪動(dòng)或添加催化劑降低接口張力以避免這種問題發(fā)生。

不銹鋼蝕刻后表面平滑度差的原因是什么。

蝕刻后不銹鋼工件表面平滑度差，對(duì)于零件的后期使用與裝配肯定會(huì)有不好的影響，一般來(lái)說合格蝕刻加工的零件表面平滑度是比較高的，只要管控好每一個(gè)工序，基本不會(huì)出現(xiàn)什么問題，那么不銹鋼蝕刻后表面平滑度差的原因是什么呢，下面興之揚(yáng)就為大家整理一下，大家對(duì)應(yīng)一步步排查。蝕刻加工的產(chǎn)品我們要保證每個(gè)細(xì)節(jié)，每個(gè)關(guān)鍵尺寸的準(zhǔn)確，檢測(cè)到位，保證符合客戶的工程圖紙的要求，不能馬虎了事。

一：蝕刻液里的雜質(zhì)含量太高，蝕刻不準(zhǔn)確，會(huì)造成表面粗糙，更換蝕刻液就可以解決；

第二：一般不銹鋼蝕刻會(huì)采用三氯化鐵來(lái)進(jìn)行，如果三氯化鐵的質(zhì)量也會(huì)影響工件表面平滑度，選擇質(zhì)量好的三氯化鐵供應(yīng)商是很有必要的；

第三：活化與添加劑含量不足，這就需要根據(jù)經(jīng)驗(yàn)加強(qiáng)活化過程，以及定期補(bǔ)加合適區(qū)間的添加劑；

第四：氯離子濃度高或者磷酸離子濃度過低，也會(huì)引起工件表面平滑度差，因此要做好元素濃度的調(diào)整，氯離子過高可以更換部分溶液，或者添加適當(dāng)?shù)腍NO3和NH4NO3進(jìn)行稀釋；

第五：如果不銹鋼原材料質(zhì)量不過關(guān)，材料晶粒比較粗糙，那么時(shí)候后的工件表面也會(huì)比較粗糙，因此要做好原材料的質(zhì)量管控。