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發(fā)布時(shí)間:2020-07-29 23:15  






 

半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支??鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合,可分為電子級(jí),LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí),VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級(jí)。    

           近幾年來,智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng),電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。據(jù)了解,我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展:國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局,高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束,高純已成功打開國內(nèi)市場(chǎng)。而在6000k左右的光色正好是最白略微開始轉(zhuǎn)藍(lán)的色溫,也最接近正午日光的顏色,人眼的接受度高。

電子氣體主要包括:、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.

其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。



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 氣鋼瓶在搬運(yùn)過程中未戴瓶帽,手托瓶閥抬運(yùn)或碰撞等原因,使瓶頸上或閥體上螺紋損壞,瓶閥可能被瓶?jī)?nèi)壓力沖出脫離瓶頸。

 由于氣鋼瓶在搬運(yùn)或儲(chǔ)存過程中墜落或撞擊堅(jiān)硬物體,也能在冷狀態(tài)下發(fā)生。

 鋼瓶結(jié)構(gòu)、制造工藝和材質(zhì)不符合安全要求,致使氣鋼瓶強(qiáng)度不夠而引發(fā)。

 未按規(guī)定周期進(jìn)行技術(shù)檢驗(yàn),由于瓶壁銹蝕變薄、裂紋而導(dǎo)致。



氣燈分類方法有很多種,燈的直徑有:3mm、4mm、5mm、6mm,長(zhǎng)度有:9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、16mm。根據(jù)氣燈發(fā)什么顏色光分類:紅色、藍(lán)色、綠色、白色、黃色。建議新燈使用時(shí)可工作于額定電流的70%~80%,然后根據(jù)需要逐漸增大工作電流(不得超過規(guī)定的大值),這樣可延長(zhǎng)燈的使用壽命。亮度有:標(biāo)準(zhǔn)亮度、準(zhǔn)高亮度、高亮度、超高亮度、藍(lán)色熒光燈、綠色熒光燈、紅色熒光燈、黃色熒光燈。另外、氣燈深加工產(chǎn)品可以焊接電阻


色譜分析檢測(cè)過程中,氣相色譜儀對(duì)所用的氣體純度有較高的要求,為即達(dá)到工作要求,又能延長(zhǎng)儀器壽命,所用氣體的純度要達(dá)到或略高于儀器自身對(duì)氣體純度的要求;否則,若使用不符合要求的低純度氣體,會(huì)造成一系列不良影響;

一般情況下,氣體純度選擇應(yīng)掌握以下原則,即微量分析比常量分析要求高,毛細(xì)管柱分析比填充柱分析要求高,程序升溫分析比恒溫分析要求高,濃度型檢測(cè)器比質(zhì)量型檢測(cè)器要求高,配有甲烷裝置的FID比單FID要求高,中高  d檔儀器比低檔儀器要求高。


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