氦質(zhì)譜檢漏原理

深圳銳誠真空專業(yè)生產(chǎn)、銷售氦檢漏設(shè)備，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術(shù)，氦檢漏設(shè)備，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，氦檢漏設(shè)備價格，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離，這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)，由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏設(shè)備保養(yǎng)，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數(shù)量，電流信號經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣，是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

氦檢漏設(shè)備的工藝流程

A1:安裝工件-----關(guān)真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內(nèi)充高壓氮氣-----大漏及強度檢測;

B1:若A1檢測不通過，則系統(tǒng)報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止;

B2:若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測;

C1:若B2檢測不通過，則系統(tǒng)報警-----循環(huán)檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止;

C2:若B2檢測通過，真空箱內(nèi)充入大氣，同時工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

氦質(zhì)譜檢漏法的應用領(lǐng)域

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其廣泛應用。主要領(lǐng)域和產(chǎn)品如下：

原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)、容器；

高能物理研究院——及其配件；

電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；

電力工業(yè)——電子器件、半導體、傳感器和積成電路；

航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；

儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；

空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；

真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；

冶金——真空電爐；

低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；

輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。

這些部門的產(chǎn)品要求一定的密封性，其中，有的產(chǎn)品的泄漏會危害產(chǎn)品或工作過程，還有些產(chǎn)品泄漏會造成物質(zhì)的流失，嚴重的會危害操作人員的生命健康。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢漏真空箱、回收系統(tǒng)和差壓氣密性檢漏儀的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技創(chuàng)新型企業(yè)。公司自成立以來，以“積極樂觀、勇于擔當、不輕然諾，精益求精”的企業(yè)精神，一步一個腳印發(fā)展成為中國同類企業(yè)中經(jīng)營范圍廣、在行業(yè)內(nèi)頗具影響力的企業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。