DZS800型電子束鍍膜設(shè)備

主要用途：　　

用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等，批量生產(chǎn)型。

系統(tǒng)組成:　　

系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。　　

技術(shù)指標(biāo)：　　

極限真空度：≤6.7×10 Pa　　恢復(fù)真空時(shí)間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min　　

系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱體前開(kāi)門，后置抽氣系統(tǒng)　　

e型電子槍：陽(yáng)極電壓：10kv(2套)　　坩堝：水冷式坩堝，24穴設(shè)計(jì)，每個(gè)容量11ml　　

功率：0-10KW可調(diào)　　電阻蒸發(fā)源(可選)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更換20個(gè)樣品　　

樣品臺(tái)：基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離350mm加熱溫度 400°C±1°C　　

氣路系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制儀：監(jiān)測(cè)膜厚顯示范圍：0-99μ9999?

沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)電子束產(chǎn)品供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰?lái)以上信息。

電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)

* 渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開(kāi)關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動(dòng)Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測(cè)，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動(dòng)控制，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制控

* 多級(jí)密碼保護(hù)的授權(quán)訪問(wèn)設(shè)計(jì)

* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖

以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容，希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識(shí)，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。

電子束鍍膜機(jī)介紹

* 帶旋轉(zhuǎn)的傾斜沉積

* 行星式基片夾具

* 基片RF/DC偏壓

* 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

* 附加物理沉積源（熱蒸鍍，磁控濺射）

* 用于反應(yīng)蒸鍍的MFC

* 不同的泵組選擇，可升級(jí)分子泵為冷泵，前級(jí)泵為干泵

* 進(jìn)樣室和自動(dòng)上下片/可支持單片和25片片夾

以上就是關(guān)于電子束的相關(guān)內(nèi)容介紹，如有需求，歡迎撥打圖片上的熱線電話！