無(wú)油真空泵近年來(lái)解決了不少科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問(wèn)題，國(guó)內(nèi)很多企業(yè)也啟動(dòng)了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模的試制無(wú)油真空泵的探索，在不同研發(fā)階段上顯示了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的規(guī)劃，如在基礎(chǔ)技術(shù)、激勵(lì)機(jī)制、技術(shù)推廣、市場(chǎng)開(kāi)拓規(guī)劃的調(diào)整等，這些舉措都為鋪展市場(chǎng)做好了基礎(chǔ)。將高真空室泵腔研磨去Q03mm，低真空室泵腔研磨去004mm。

無(wú)油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動(dòng)等基礎(chǔ)性、共性問(wèn)題，還使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。在生物制品與半導(dǎo)體行業(yè)中，如果應(yīng)用普通旋片油泵，會(huì)產(chǎn)生有油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問(wèn)題，而無(wú)油渦旋真空泵就避免了這些問(wèn)題的出現(xiàn)。為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子，還要在系統(tǒng)運(yùn)行中，定期清洗除油，增加了成本運(yùn)行。因此，無(wú)油渦旋真空泵確實(shí)具有未來(lái)深廣的發(fā)展前景，是著重商業(yè)化的對(duì)象。由此可以看出，當(dāng)真空泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可以優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。

國(guó)內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝和科學(xué)研究與分析測(cè)試行業(yè)迫切需要無(wú)油污染的真空環(huán)境，無(wú)油真空泵的研發(fā)不僅推動(dòng)了應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的整體素質(zhì)，還為我國(guó)其他清潔真空獲得設(shè)備提供了有效地借鑒，帶動(dòng)了整個(gè)真空獲得行業(yè)的能力和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，未來(lái)具有極大的市場(chǎng)前景。但如果裝配不正或轉(zhuǎn)子外表為橢圓形，在轉(zhuǎn)動(dòng)泵輪時(shí)，就會(huì)發(fā)生半周輪重、半周輪輕的感覺(jué)。

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