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特種氣體在LED中的應(yīng)用
特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并且從根本上制約著電路和器件的性和準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類,主要包括:
1. 硅族氣體:含硅基的類,如、二氯二氫硅、乙等。
2. 摻雜氣體:含硼、磷、等三族及五族原子之氣體,如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3. 蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。
4. 反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主,如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。
5. 金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬,如六氟化鎢、基等。
工業(yè)氣體在各行業(yè)中的應(yīng)用!
工業(yè)氣體的應(yīng)用范圍非常廣泛,種類也非常豐富,包括氧、氮、氬、氖、氦、氪、氙、氫、二氧化碳、乙炔、天然氣等。這些氣體各自具有不同的化學(xué)性質(zhì),應(yīng)用環(huán)境也各不相同,在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中也具有舉足輕重的作用。
工業(yè)氣體用量的傳統(tǒng)行業(yè)主要有:煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產(chǎn)、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等,包括石油化學(xué)工業(yè)、機(jī)械工業(yè)焊接、金屬熱處理等。由于這些產(chǎn)業(yè)在近幾年發(fā)展迅猛,這些氣體的用量也隨之增加。
環(huán)保產(chǎn)業(yè)投資力度加大為特種氣體行業(yè)發(fā)展提供巨大動(dòng)力
近年來(lái),隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速增長(zhǎng)、人們環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng)和環(huán)境保護(hù)工作力度的加大,中國(guó)環(huán)保產(chǎn)業(yè)取得了較大的發(fā)展。2017年,我國(guó)財(cái)政環(huán)境保護(hù)支出為4506億元,同比增長(zhǎng)16.75%。在國(guó)家和各級(jí)不斷加大重視并持續(xù)增加支出,以及伴隨著工業(yè)發(fā)展產(chǎn)生的大量市場(chǎng)需求等方面因素的作用下,中國(guó)城市環(huán)保行業(yè)始終保持較快增長(zhǎng)。
其中,作為環(huán)保產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán),與污水處理和大氣處理相比,中國(guó)目前固廢處理行業(yè)仍處于初始階段,產(chǎn)業(yè)化程度和市場(chǎng)集中度均非常低,投資規(guī)模的加大將為特種氣體行業(yè)的發(fā)展提供巨大的動(dòng)力。