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潔凈室中的氣流速度規(guī)定:這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準,采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風速的可行性。
無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
潔凈車間地面裝飾資料的焚燒功能應契合現(xiàn)行標準《修建內部裝飾規(guī)劃防火規(guī)范》GB50354的規(guī)則:甲、乙類潔凈車間其潔凈出產(chǎn)區(qū)應運用A型級別資料,同時應滿足防火、防靜電的特殊要求。丙、丁類潔凈車間應運用不低于B2級的資料。技能豎井的壁面必須是非焚燒體,其耐火極限不行少于1小時。井壁上檢查門的耐火極限不行少于0.6小時;豎井內涵各層或相隔一層樓板處,應運用等同于樓板耐火極限的非焚燒體做水平防火分隔,穿過水平防火分隔的電纜電線其周圍縫隙,應運用非焚燒資料堵塞填充。