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凈化工程所需要的材料:
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
我國(guó)的潔凈室工程開始于20世紀(jì)60年代初,在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級(jí)單向流潔凈室;與此同時(shí),潔凈廠房用設(shè)備和資料,如過濾器,潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產(chǎn),雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距,但已能滿足國(guó)內(nèi)部分需求,到20世紀(jì)70年代末我國(guó)潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。
無(wú)塵車間凈化工程該如何選擇與維護(hù)保養(yǎng)呢?
1.應(yīng)提升留意房間內(nèi)的溫度濕度操縱,防止因環(huán)境濕度的不善導(dǎo)致冷凝水銹蝕。
2.當(dāng)設(shè)備檢修易造成微塵物體,故檢修時(shí)盡可能于清理戶外開展,并加護(hù)欄網(wǎng)防護(hù)。
3.針對(duì)工程施工或檢修的生產(chǎn)商,應(yīng)告之出入無(wú)塵車間的工作紀(jì)律要求,且承擔(dān)技術(shù)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)工。
4.需有無(wú)無(wú)塵車間常用工具組,但不可弄出無(wú)塵車間外應(yīng)用。
5.設(shè)計(jì)室內(nèi)空間時(shí)若能鄰近無(wú)塵車間開設(shè)一間檢修和設(shè)備維修手冊(cè)放置室,將是一理想化的設(shè)計(jì)。