真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。噴吹法該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對(duì)其抽真空并達(dá)到真空銜接與質(zhì)譜管溝通，然后用噴槍向漏孔噴吹氦氣。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

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氦質(zhì)譜檢漏用氦氣的選擇

氦氣是一種無(wú)色、無(wú)味的隋性氣體。(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測(cè)的準(zhǔn)確性。相對(duì)分子質(zhì)量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，分子的質(zhì)量為3.65×10-27kg，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3，臨界溫度為5.25K，臨界壓力為2.26×105Pa，1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214K，熔點(diǎn)為0.9K，三相點(diǎn)溫度為2.186K，三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2Pa，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79J/(m·h·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s，1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業(yè)用氦、純氦、高純氦三種。

1、工業(yè)用氦：氦含量≥99%，露1點(diǎn)≤43℃.

2、純氦分三級(jí)：優(yōu)等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。

3、高純氦分為三級(jí)：優(yōu)等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。

氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用，純度要求不高，一般選用工業(yè)用氦，即氦含量≥99%，露1點(diǎn)≤43℃。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的準(zhǔn)確性

一，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的自身要符合相關(guān)的質(zhì)量要求。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能自帶第三方的檢測(cè)證書。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散。例如，美國(guó)國(guó)家計(jì)量院NIST；中國(guó)國(guó)家計(jì)量院，或有資質(zhì)的檢定機(jī)構(gòu)；德國(guó)的DKD等。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要通過(guò)有標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定資質(zhì)的第三方，進(jìn)行檢定。以此來(lái)保證標(biāo)準(zhǔn)漏孔本身沒有問題。

二，標(biāo)準(zhǔn)漏孔要經(jīng)常檢定、校準(zhǔn)。建議每年進(jìn)行一次校準(zhǔn)。尤其是年泄漏率大的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，更是要注意，經(jīng)常校準(zhǔn)。如果發(fā)現(xiàn)異常，要用外置漏孔校準(zhǔn)。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障

檢漏技術(shù)在我國(guó)經(jīng)濟(jì)中占有非常重要的地位，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車等行業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏法與泡檢漏法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監(jiān)測(cè)靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無(wú)毒性、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn)，是諸多檢漏法中有效的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過(guò)程中，常見的故障就是燈絲脆斷，氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因?yàn)榧冩u絲高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后變得很脆，再受到?jīng)_擊或震動(dòng)時(shí)極易斷裂。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴(kuò)展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過(guò)程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯(cuò)能量，降低位錯(cuò)移動(dòng)的晶界阻抗，從而使位錯(cuò)遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現(xiàn)象稱為“萊塑化效應(yīng)”。該效應(yīng)降低了氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風(fēng)險(xiǎn)，錸濃度高時(shí)的塑化效應(yīng)降低。