特種氣體：氦氣

氦氣具有化學惰性，常被用做半導體工業(yè)的保護氣和科學實驗中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣，避免電焊工件、單質硅和氧氣發(fā)生化學反應。目前，保護氣已成為氦氣的第二大應用領域。在氣相色譜中，氦氣作為載體氣可運送被測氣體且不與其發(fā)生反應。

 氦氣分子1小，使其穿透能力強、密度1小，被用做管道檢漏，可解決單純依靠聲波檢測技術無法解決的問題，對深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道，特別是低壓運行的管道，有明顯的檢測效果。

特種氣體的雜質檢測和監(jiān)控

隨著電子特氣的純度越來越高，對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從zui早的ppm級已經發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經經歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。因為空氣中氧氣和氮氣分壓力最1大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮氣的滲透，一般對氧氣的滲透測試比較多。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設備，并通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。（管道封口應套上管帽，再采用EP管完好的內包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。