凈化車間功能溫度測試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個分格面積不超過100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。測試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點，每個溫度控制區(qū)或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。

影響無塵凈化工程潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請求來斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進步，技術(shù)對溫濕度的請求也越來越高，有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請求濕度值通常較低，因為人出汗今后，對商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。