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真空鍍膜磁控濺射包括很多種類(lèi)。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電子交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊亞氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場(chǎng)特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。但旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)濺射速率要減小。旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對(duì)于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備,多用磁場(chǎng)靜止靶源。
對(duì)一些產(chǎn)品,如許多板件、管件、鑄件、鍛件和化工用的槽池等,壁厚設(shè)計(jì)時(shí)除了要考慮必要的機(jī)械強(qiáng)度保障以外,還必須預(yù)留一些腐蝕余量;
真空鍍膜主要是為了減少反射。為了提高鏡頭的透光率和影像的質(zhì)量,在現(xiàn)代鏡頭制造工藝上都要對(duì)鏡頭進(jìn)行真空鍍膜。鏡頭的真空鍍膜是根據(jù)光學(xué)的干涉原理,在鏡頭表面鍍上一層厚度為四分之一波長(zhǎng)的物質(zhì)(通常為氟化物),使鏡頭對(duì)這一波長(zhǎng)的色光的反射降至較低。顯然,一層膜只對(duì)一種色光起作用,而多層真空鍍膜則可對(duì)多種色光起作用。