相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

凈化車間重要的空氣凈化系統(tǒng)，凈化系統(tǒng)可以保證車間內(nèi)的潔凈度，讓車間處在一個無菌的環(huán)境中，但是在生產(chǎn)過程中需要打開空氣凈化系統(tǒng)，每天較長時間的系統(tǒng)運行中會消耗很多能源，這個時候就要考慮到節(jié)能問題，盡量減少耗能量，不同的區(qū)域要系統(tǒng)化的劃分，計算好車間的溫度、潔凈度，提供合適的送風(fēng)量，根據(jù)潔凈的等級決定換氣次數(shù)。避免從風(fēng)管將空氣溫度降低，風(fēng)管要注意保溫性。還需要注意空氣凈化系統(tǒng)的密閉性，避免從接口泄漏，注意連接方式的密閉性?？照{(diào)箱、冷水機組、風(fēng)機等設(shè)備選擇都很能源消耗有重要關(guān)系。

設(shè)計實驗室時應(yīng)該注意哪些事項：1、實驗室配有空調(diào)系統(tǒng)，其風(fēng)口應(yīng)采用噴塑或其他處理過的金屬材料制成，化學(xué)實驗室一般不設(shè)回風(fēng)口。2、實驗室的照明燈具不宜用金屬制品，若選用金屬燈具需經(jīng)表面處理，以防止腐蝕。3、各種管線應(yīng)盡量避免外露，實驗室應(yīng)簡潔。有條件應(yīng)設(shè)置火災(zāi)煙霧報警器等。4、安全設(shè)施包括消防滅火系統(tǒng)，惰性氣體滅火系統(tǒng)，安全柜，緊急事故淋洗器、洗眼器等。5、供氣設(shè)施包括供氣站、供氣板、用氣板及其管路系統(tǒng)等。