半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

在廠房裝修過程中，首先要注意的是合理有效地劃分空間，布局是廠房裝修的首要因素，一般的廠房面積較大，那么在劃分使用功能的時候還要考慮到分布以及通風(fēng)、消防通道的預(yù)留。為便于管理，廠房多明確劃分設(shè)備區(qū)與辦公區(qū)的位置，并以地面的色調(diào)為準，對區(qū)域進行劃分，同時也要考慮到設(shè)備區(qū)與辦公區(qū)的空間流暢性。還應(yīng)該考慮到通風(fēng)、采光的需要。如果設(shè)備眾多的，應(yīng)該劃分好區(qū)域，做好標識。劃分區(qū)域的標識應(yīng)該盡量避免色彩過多，做到明朗、清晰就可以。

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門,考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門，考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要，其開設(shè)方向要朝向壓力大的房間，因為要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時潔凈和緊急疏散時的兩方面要求，規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對待，其開啟方向一律朝向疏散方向，當然，單設(shè)的安全門也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結(jié)構(gòu)和外門外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。