氣體監(jiān)測

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險，設(shè)計戶內(nèi)通風裝置時要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設(shè)備。

1）電化學技術(shù)（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。SF6是強電負性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質(zhì)量大的負離子，削弱氣體中碰撞電離過程，因此其電氣絕緣強度很高，在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2。電化學技術(shù)的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。電化學技術(shù)其成本低、壽命長、結(jié)構(gòu)簡單，可以連續(xù)工作的特點。

六氟化硫有毒嗎？這是個“美麗的誤會”

    六氟化硫有毒嗎？純凈的六氟化硫是一種惰性氣體，在電弧作用下會分解，當溫度高達4000K以上時，大部分的分解物為硫和氟的單原子。SF6氣體的分子具有很好的電負性，能夠捕i捉自由電子形成負離子，因此SF6氣體的滅弧性能是空氣的100倍，大型電力設(shè)備中大多使用SF6斷路器而不是空氣開關(guān)。電弧熄滅后，絕大部分的分解產(chǎn)物又重新結(jié)合成穩(wěn)定的六氟化硫分子。其中極i少量的分解物，在重新結(jié)合的過程中與游離的金屬原子、水和氧發(fā)生化學反應(yīng)，產(chǎn)生金屬氟化物及氧、硫的氟化物。六氟化硫用于電氣設(shè)備內(nèi)時，無論是在故障情況下或是在正常的開斷電弧作用下，可能分解，產(chǎn)生氧、硫的氟化物和金屬氟化物粉末。

    經(jīng)驗表明，工作人員在即使是含有非常微量的分解物的環(huán)境中，也會感到刺鼻或不舒服的氣味，對鼻、口及眼等有明顯的刺激。這種反應(yīng)在有明顯中i毒反應(yīng)之前的幾秒鐘內(nèi)就會產(chǎn)生。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機構(gòu)預測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右，

 國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。

六氟化硫防護之工作人員防護措施：

      在有六氟化硫設(shè)備的工作場所，有關(guān)人員應(yīng)該穿著專業(yè)的SF6防護服以及手套和工作鞋。以上這些六氟化硫氣體高溫分解的產(chǎn)物都會導致六氟化硫氣體純度不純的問題。六氟化硫防護服采用特殊的材料制成，具有耐磨、柔韌性好的特點，不會影響人員活動自由，此外還能保護人體遠離無機酸、堿以及其它有毒有害分解物。如果在密閉空間內(nèi)或者狹小的環(huán)境以及可能存在SF6泄i露的環(huán)境，使用防護面罩也屬于六氟化硫防護的內(nèi)容。在對SF6電氣設(shè)備進行更換新的SF6氣體或者是檢漏、檢修、安裝維護的時候，為了避免吸入六氟化硫，減少中i毒的可能性，配帶專業(yè)的面罩和呼吸器很有必要！面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質(zhì)中，危害可不少。由于有些有毒物質(zhì)是氣態(tài)存在的，呼吸時有可能進入體內(nèi)，所以六氟化硫防護需要使用過濾器。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護人員安全。