化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類(lèi)型的薄膜。傳動(dòng)軸桿上安裝有工業(yè)級(jí)滾柱軸承，可靠性極高，使用壽命和無(wú)故障工作時(shí)間也更長(zhǎng)5。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢(xún)我們的應(yīng)用工程師之一來(lái)選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。我們的泵設(shè)計(jì)具有可選的溫度設(shè)定點(diǎn)和高旋轉(zhuǎn)速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免發(fā)生的總體材料損失速率。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。定期檢查電動(dòng)機(jī)電流值，不得超過(guò)電動(dòng)機(jī)額定電流泵長(zhǎng)期運(yùn)行后，由于機(jī)械磨損，使機(jī)組噪聲級(jí)振動(dòng)增大時(shí)，應(yīng)停機(jī)檢查，必要時(shí)可更換易損零件及軸承，機(jī)組大修期一般為一年。尤其是需要含氟的清潔制程來(lái) 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對(duì)于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問(wèn)題， 同時(shí)不使腐蝕速度過(guò)高。

愛(ài)德華真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

Edward真空泵油概述：  提供一系列新型油：Ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生產(chǎn)。機(jī)械密封維護(hù)機(jī)械密封潤(rùn)滑應(yīng)清潔無(wú)固體顆粒嚴(yán)禁機(jī)械密封在干磨情況下工作。大多數(shù)制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用獨(dú)特的濕法處理制程生產(chǎn)。這一制程不會(huì)產(chǎn)生氮、硫、氧和芳香烴類(lèi)，因此可得到無(wú)任何雜質(zhì)的清潔基料。

加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。2抽氣速率理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉(zhuǎn)速和是否是雙側(cè)渦旋共同決定的一個(gè)反映抽氣性能的參數(shù)，也叫幾何抽速。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會(huì)造成油的退化，從而延長(zhǎng)換油時(shí)間間隔。特性與優(yōu)勢(shì)： 加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。

油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會(huì)造成油的退化，從而延長(zhǎng)換油時(shí)間間隔。

這些油所具備的以上特性使其適用于多種應(yīng)用。

在真空泵機(jī)組定期一切換過(guò)程中，多次發(fā)生過(guò)類(lèi)似異常。4、合理地選用真空泵油,將會(huì)對(duì)泵的極限分壓力、極限全壓力、起動(dòng)、功率消耗、泵溫、泵性能的穩(wěn)定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。在備用真空泵機(jī)組啟動(dòng)、原運(yùn)行泵停運(yùn)后。凝汽器真空便開(kāi)始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)氣水分離器內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)，這是一種異?，F(xiàn)象。好凱德真空科技分析認(rèn)為，真空泵機(jī)組工作不正常，導(dǎo)致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。

認(rèn)為真空泵機(jī)組內(nèi)密封水量不足，造成真空泵機(jī)組底部水量未充滿(mǎn)，氣水分離器內(nèi)的空氣漏入真空泵內(nèi)，使得真空泵內(nèi)的負(fù)壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。據(jù)此臨時(shí)采用手動(dòng)啟動(dòng)方式，先啟動(dòng)密封水泵運(yùn)行5min，然后再啟動(dòng)真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時(shí)將冷卻器進(jìn)行清理(發(fā)現(xiàn)冷卻器內(nèi)較臟)，保證了密封水量充足。采取以上措施后，在倒換真空泵組運(yùn)行過(guò)程中，未再有真空下降的異常發(fā)生。