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超精密機(jī)床的設(shè)計、制造技術(shù)已升華到一種藝術(shù)境界,非常規(guī)方法能及。常規(guī)機(jī)床在設(shè)計與制造等技術(shù)環(huán)節(jié)上要求相對較低,而超精密機(jī)床各環(huán)節(jié)基本都處于一種技術(shù)極限或臨界應(yīng)用狀態(tài),哪個環(huán)節(jié)考慮或處理不周就會導(dǎo)致整體失敗。因此,設(shè)計上需對機(jī)床系統(tǒng)整體和各部分技術(shù)具有、深刻的了解,并依可行性,從整體出發(fā),周詳?shù)剡M(jìn)行關(guān)聯(lián)綜合設(shè)計。廣州精密加工定制服務(wù)熱線。
振動對超精密加工的影響非常明顯。機(jī)床隔振需采取特殊的地基處理和機(jī)床本體氣浮隔振復(fù)合措施。氣浮隔振系統(tǒng)采用具有位置控制的主動式氣墊。LODTM機(jī)床支撐在4個氣墊上,并形成3點動態(tài)可調(diào)平支撐。機(jī)床體氣浮隔振系統(tǒng)還需具備自動調(diào)平功能,以防止機(jī)床加工中水平狀態(tài)變化對加工的影響。對于LODTM隔振要求高的機(jī)床,隔振系統(tǒng)的自然頻率要求在1Hz以下。廣州精密加工定制服務(wù)熱線。