液氬 - 用途

高純氬在半導體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。

液氬的操作和儲存

操作處置注意事項：密閉操作，加強通風，設有事故強制通風設備，操作人員必須經(jīng)過專門培訓。持證上崗，操作時嚴格遵守操作規(guī)程。充裝時要控制充裝速度。充裝時間不少于30min。液氬泄漏嚴防傷。

液氬應用

不銹鋼、鋁、鎂、銅、鎳、鈦、鉬及其合金的氬保護焊接，利用其惰性防止工件氧化、氮化，提高可焊性和焊接質量。

液氬罐使用注意事項

液氬罐只用于盛裝液氬，不允許盛裝其他液體。

使用，打開液氬到汽化器的閥門，向汽化器供液，調節(jié)穩(wěn)壓閥到要求的壓力，向外輸送氮氣。

液氬貯槽使用前的準備工作

閥門儀表的檢查：在充入低溫液體前要認真檢查閥門是否處于正確的啟閉狀態(tài)，儀表指示是否正確否則應予以調整。

液氬 - 制法

采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進行精餾，得到粗氬，粗氬經(jīng)進一步提純可得到高純氬。

液氬在以下情況發(fā)生時的急救措施

當不幸誤吸入處理方法：將患者移至空氣新鮮處，保持呼吸道暢通，呼吸困難時輸氧，呼吸停止時，施行呼吸復蘇術，心跳停止時，施行心肺復蘇術；就醫(yī)。

高純液氬在操作過程中的注意事項

當空氣中的氬氣含量過高可能會導致氧氣的含量降低，當?shù)陀?9.5%的時候就會引起人體窒息。在氬氣儲備的地方常備呼吸面具就成為必不可少的裝備。

液氬貯槽使用前的準備工作

吹除處理：氣密性試驗合格后，需要干燥無油的空氣對貯槽內筒系統(tǒng)進行吹除處理，用以去除潮濕空氣，系統(tǒng)在用干燥空氣或氮氣吹除之后，還應用產(chǎn)品氣體吹除，直到排除氣體純度打到要求為止。

液氬 - 制法

采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進行精餾，得到粗氬，粗氬經(jīng)進一步提純可得到高純氬。