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發(fā)布時(shí)間:2020-12-06 17:43  






Parylene氣相沉積涂敷工藝

  在微電子領(lǐng)域,近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快,真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層,而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外,在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene,更被國(guó)外集成電路研究者所青睞,用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。      Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí),在工作上有很強(qiáng)的滲透性,能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中,真正形成完全敷形,均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑,即使在0.1微米厚也沒有,氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜,沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力,對(duì)工件能進(jìn)行表面加固,但不會(huì)引起傷害,也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。


涂敷過程在真空下進(jìn)行,稱它為蒸汽沉積聚合(VDP)

涂敷過程在真空下進(jìn)行,稱它為蒸汽沉積聚合(VDP),作為一種涂敷技術(shù),VDP提供了可靠的先進(jìn)性,明顯要由于刷涂,浸涂,噴涂等其它涂敷技術(shù)。它的先進(jìn)性主要來(lái)源于它是由氣相單體直接形成固體涂層而沒有一個(gè)液態(tài)的中間過度階段。因此在傳統(tǒng)方法中由于表面張力而引起的從棱刃處流淌到低的溝槽里積料的現(xiàn)象它不會(huì)發(fā)生。Parylene涂層是從基材的表面向外“生長(zhǎng)”,形成一個(gè)均勻厚度的敷形涂層,好多試驗(yàn)證明這種涂敷處理涂層厚度在1微米以下時(shí)也是無(wú)的。


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        三防漆根據(jù)每個(gè)地區(qū)和每個(gè)廠家使用的要求和側(cè)重面有多種叫法,如三防膠、防潮膠、絕緣膠、防潮漆、保護(hù)漆、防護(hù)漆、披覆膠、涂覆膠、防水膠、防潮油、三防油、三防劑、保護(hù)劑、防潮劑、保形涂料、敷型涂料、共形覆膜、共性涂覆,英文名Conformal Coating。三防漆是一種特殊配方的涂料,用于保護(hù)線路板及其相關(guān)設(shè)備免受壞境的侵蝕,從而提高并延長(zhǎng)它們的使用壽命,確保使用的安全性和可靠性。




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