淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機組。

水環(huán)式真空泵的優(yōu)點

　　1）結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。

　　2）結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

　　3）壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。

　　4）由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。

　　5）吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。

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 干式真空泵是泵腔內(nèi)動作，不會產(chǎn)生摩擦起火花，主要是看配的電機是否是防爆電機。干式泵真空度比較高價格相對較高，而水環(huán)真空泵用水做密封，真空度較差，價格較低。

干式泵也是有間隙的，氣體有個壓縮過程生熱，抽真空先形成負壓腔，抽到泵內(nèi)氣體，還要有個壓縮過程排出去。氣體的體積變化，會有熱量。水環(huán)泵的因為泵里有水，其抽吸過程接近于等溫壓縮。

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　　為了保證水環(huán)真空泵運轉(zhuǎn)，就必須及時調(diào)整葉輪與前護板的間隙，金屬內(nèi)襯泵葉輪與前護板間隙在0.5-1毫米之間，橡膠內(nèi)襯泵葉輪與前后護套之間的間隙要相等。調(diào)節(jié)葉輪間隙時應(yīng)當(dāng)停泵，松開壓緊軸承組件的螺栓，擰調(diào)整螺栓上的螺母，使軸承組件向前移動，同時用手轉(zhuǎn)動軸按泵轉(zhuǎn)動方向旋轉(zhuǎn)，直到葉輪與前護板摩擦為止。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍。　　

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